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本发明公开了光刻机技术领域的一种直写光刻机吸盘压板装置，包括吸盘、安装槽和支撑梁，所述吸盘的右侧壁前后两侧开有移动槽，所述移动槽的内腔底部固定连接有电动升降杆，所述电动升降杆的顶端固定连接有移动块，所述移动块滑动连接在所述移动槽的内腔，所述...
该专利属于江苏格微晶智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏格微晶智能科技有限公司授权不得商用。

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