【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于稳频激光器气室设计领域，具体涉及一种沟槽波导结构的片上稳频气室及其稳频方法。
技术介绍
1、芯片级稳频激光器气室是用于封装饱和吸收气体介质的特殊设计，该气室在稳频激光器系统中起到关键作用，提供参考频率标准以实现激光频率的稳定，同时能够缩小激光器整体尺寸，达到芯片级稳频激光器。
2、稳频激光器在精密测量、光通信、光谱学等领域具有广泛应用。它们的稳定性和准确性对于确保系统性能至关重要。在光纤通信系统中，激光的频率稳定性直接影响信息的传输质量和系统性能，因此，稳频激光器被用来确保数据传输的稳定性和可靠性。稳频激光器还可以用于对物质成分和结构进行准确分析。通过比较样品的吸收光谱，可以实现高灵敏度和可靠性的光谱分析。
3、而芯片级稳频激光器可嵌入生产和工艺设备内部，将高测量准确度直接赋予制造设备并保持长期稳定，一方面大大缩短了量值传递链路，测量结果的准确性、可靠性大大提升，另一方面实现了对产品制造全过程更准确可靠地感知和最佳控制，为智能制造、数字化转型提供强有力的支撑；同时芯片级稳频激光器将催生出新的测量方法...
【技术保护点】
1.一种沟槽波导结构的片上稳频气室，其特征在于：包括一个长方体的腔体，其内部充有密封气体，腔体内设置有第一直波导、第二直波导和沟槽波导，第一直波导、沟槽波导、第二直波导依次通过锥形结构波导连接。
2.根据权利要求1所述的沟槽波导结构的片上稳频气室，其特征在于：沟槽波导包括两个距离较近的窄波导，两个窄波导之间形成一个沟槽波导狭缝，光能够在沟槽波导狭缝中传输，沟槽波导为蛇形波导结构，沟槽波导的宽为200nm，高为220nm，弯曲半径为20μm，长度为50cm，沟槽波导狭缝宽度为100nm。
3.根据权利要求2所述的沟槽波导结构的片上稳频气室，其特征...
【技术特征摘要】
1.一种沟槽波导结构的片上稳频气室，其特征在于：包括一个长方体的腔体，其内部充有密封气体，腔体内设置有第一直波导、第二直波导和沟槽波导，第一直波导、沟槽波导、第二直波导依次通过锥形结构波导连接。
2.根据权利要求1所述的沟槽波导结构的片上稳频气室，其特征在于：沟槽波导包括两个距离较近的窄波导，两个窄波导之间形成一个沟槽波导狭缝，光能够在沟槽波导狭缝中传输，沟槽波导为蛇形波导结构，沟槽波导的宽为200nm，高为220nm，弯曲半径为20μm，长度为50cm，沟槽波导狭缝宽度为100nm。
3.根据权利要求2所述的沟槽波导结构的片上稳频气室，其特征在于：气室包层采用二氧化硅材料，沟槽波导采用硅材料，气室中充入的密封气体为乙炔气体。
4.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：李宝帅，李昊宇，朱兴邦，张志伟，李国超，孙庆旭，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十一研究所，
类型：发明
国别省市：
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