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本发明公开了一种沟槽波导结构的片上稳频气室及其稳频方法，属于稳频激光器气室设计领域，本发明利用CMOS工艺平台，可以实现稳频气室的微型化，使得激光器系统的体积大幅减小；沟槽波导结构可以提供更好的光限制和更低的光损耗，使光更充分的与气体接触发...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十一研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十一研究所授权不得商用。

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