用于质谱仪的真空装置和质谱仪制造方法及图纸

本发明专利技术涉及质谱仪的技术领域，具体提供一种用于质谱仪的真空装置和质谱仪，旨在解决质谱仪真空建立速度较慢，延长质谱仪工作时长，影响用户体验的问题。为此目的，本发明专利技术的真空装置包括进样舱、真空舱、分子泵、动力装置、控制组件和管道组件；所述真空舱和所述分子泵连接；所述管道组件分别和所述动力装置、所述分子泵、所述进样舱连接；所述控制组件安装于所述管道组件上，用于控制所述动力装置、所述分子泵和所述进样舱的真空度。本发明专利技术的用于质谱仪的真空装置中的分子泵、进样仓、动力装置、控制组件和管道组件协同作业可快速建立真空，缩短质谱仪工作时长，进而提升用户体验。此外，该真空装置占用空间小，使得质谱仪造型略小进而节省成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及质谱仪的，具体提供一种用于质谱仪的真空装置和质谱仪。

技术介绍

1、质谱仪以离子源、质量分析器和离子检测器为核心。离子源是使试样分子在高真空条件下离子化的装置。电离后的分子因接受了过多的能量会进一步碎裂成较小质量的多种碎片离子和中性粒子。它们在加速电场作用下获取具有相同能量的平均动能而进入质量分析器。质量分析器是将同时进入其中的不同质量的离子，按质荷比m/e大小分离的装置。分离后的离子依次进入离子检测器，采集放大离子信号，经计算机处理，绘制成质谱图。离子源、质量分析器和离子检测器都各有多种类型。质谱仪按应用范围分为同位素质谱仪、无机质谱仪和有机质谱仪；按分辨本领分为高分辨、中分辨和低分辨质谱仪；按工作原理分为静态仪器和动态仪器。

2、现有质谱仪一般运用真空缓冲舱的方式来实现高低真空切换控制，真空缓冲舱的方式是通过建立一个缓冲舱来预存真空，当需要快速对目标区域进行真空建立时，释放缓冲舱的预存真空来辅助进行真空建立。缺点是真空建立速度较慢，延长质谱仪工作时长，影响用户体验。此外，真空缓冲舱体积较大，因此占用较大空间，使得质谱仪造型笨重本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于质谱仪的真空装置，其特征在于，所述真空装置包括进样舱、真空舱、分子泵、动力装置、控制组件和管道组件；

2.根据权利要求1所述的用于质谱仪的真空装置，其特征在于，所述管道组件包括第一管道、第二管道、第三管道、第一三通件和第二三通件；

3.根据权利要求2所述的用于质谱仪的真空装置，其特征在于，所述第一管道的粗度大于所述第二管道和第三管道的粗度。

4.根据权利要求2所述的用于质谱仪的真空装置，其特征在于，所述控制组件包括多个电磁阀和控制装置，多个所述电磁阀均安装于所述管道组件上，所述控制装置用于根据接收到的指令控制多个所述电磁阀中的一个或多个打开...

【技术特征摘要】

1.一种用于质谱仪的真空装置，其特征在于，所述真空装置包括进样舱、真空舱、分子泵、动力装置、控制组件和管道组件；

2.根据权利要求1所述的用于质谱仪的真空装置，其特征在于，所述管道组件包括第一管道、第二管道、第三管道、第一三通件和第二三通件；

3.根据权利要求2所述的用于质谱仪的真空装置，其特征在于，所述第一管道的粗度大于所述第二管道和第三管道的粗度。

4.根据权利要求2所述的用于质谱仪的真空装置，其特征在于，所述控制组件包括多个电磁阀和控制装置，多个所述电磁阀均安装于所述管道组件上，所述控制装置用于根据接收到的指令控制多个所述电磁阀中的一个或多个打开和关闭，以便控制所述质谱仪的真空度的高低真空切换。

5.根据权利要求4所述的用于质谱仪的真空装置，其特征在于，多个所述电磁阀包括第一电磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：王国立，周晓光，李运涛，
申请(专利权)人：融智生物科技青岛有限公司，
类型：发明
国别省市：