一种太阳能电池厚度量测手动对准载物台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种太阳能电池厚度量测手动对准载物台，用于放置太阳能电池硅片以便对硅片表面薄膜厚度进行量测，其第二平台通过Ｘ轴滑动机构沿第一平台在Ｘ轴方向移动，第四平台通过Ｙ轴滑动机构沿第三平台在Ｙ轴方向移动，第二平台与第三平台相对固定。Ｘ轴滑动机构的中间位置设置有一个对第二平台进行插入固定的Ｘ轴插入式固定装置，Ｙ轴滑动机构的中间位置设置有一个对第四平台进行插入固定的Ｙ轴插入式固定装置。第四平台上方固定有一个用于放置硅片的硅片放置盒。本实用新型专利技术能够对需测量的太阳能电池硅片进行精确的位置对准，量测结果可以全面反映硅片表面厚度的分布情况。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池片薄膜厚度量测用载物台，尤其是用于测量太阳能电 池片氮化硅薄膜厚度的太阳能电池厚度量测手动对准载物台。
技术介绍
目前，太阳能电池片氮化硅薄膜厚度量测主要采用椭圆偏振薄膜测量技术，测量 时将硅片放在常规的显微测量载物台上，靠人工手动对准测量位置，量测误差较大，无法准 确计算硅片厚度的均勻度，同时容易损坏硅片。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种太阳能电池厚 度量测手动对准载物台，能够对需测量的太阳能电池硅片进行精确的位置对准，量测结果 可以全面反映硅片表面厚度的分布情况。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种太阳能电池厚度量测手动 对准载物台，用于放置太阳能电池硅片以便对硅片表面薄膜厚度进行量测，具有测量载物 台，所述的测量载物台从下至上具有第一平台、第二平台、第三平台和第四平台，第二平台 通过X轴滑动机构沿第一平台在X轴方向移动，其移动范围至少为硅片在X轴方向尺寸的 0. 8倍；第四平台通过Y轴滑动机构沿第三平台在Y轴方向移动，其移动范围至少为硅片在 Y轴方向尺寸的0. 8倍；第二平台与第三平台相对固定。所述的X轴滑动机构的中间位置设置有一个对第二平台进行插入固定的X轴插入 式固定装置。所述的Y轴滑动机构的中间位置设置有一个对第四平台进行插入固定的Y轴插入 式固定装置。用X轴插入式固定装置对第二平台进行插入固定，第二平台不能在X轴方向移动， 整个载物台只可以在Y轴方向移动，用Y轴插入式固定装置对第四平台进行插入固定，第四 平台不能在Y轴方向移动，整个载物台只可以在X轴方向移动。所述的第四平台上方固定有一个用于放置硅片的硅片放置盒，硅片放置盒长、宽 方向的尺寸均比硅片长、宽方向的尺寸长2 10mm。因硅片放置盒尺寸略大于硅片尺寸，硅 片放置在硅片放置盒内不会随意移动。进一步地，所述的X轴滑动机构和Y轴滑动机构均采用滚珠滑槽滑动机构。如果硅片尺寸为156*156mm，硅片放置盒尺寸可以是161*161mm，其第二平台在X 轴方向和第四平台在Y轴方向的移动范围是士68mm。如果硅片尺寸为125*125mm，硅片放置盒尺寸可以是131*131mm其第二平台在X轴 方向和第四平台在Y轴方向的移动范围是士52. 5mm。第二平台在X轴方向和第四平台在Y轴方向均有一定移动范围，可以保证硅片的 九个测量点的中心均能被测量到。量测时，将所需测量的太阳能电池硅片放入硅片放置盒，根据表1可以对硅片进 行精确的位置对准，对硅片进行九点测量。如表1所示，当第二平台在X轴方向调节到最左 侧位置，第四平台在Y轴方向调节到最右侧位置的时候，对应硅片上硅片点1的测量点，根 据椭圆偏振薄膜测量技术，椭偏仪的测量光斑位于硅片点1的测量中心，即可测得硅片点1 处的薄膜厚度，当第二平台在X轴方向 调节到中间位置，第四平台在Y轴方向调节到最右侧 位置的时候，对应硅片上硅片点2的测量点，椭偏仪的测量光斑位于硅片点2的测量中心， 即可测得硅片点2处的薄膜厚度，依次类推，即可精确得知硅片表面九个测量点的薄膜厚 度情况，从而可有效的反映硅片表面薄膜厚度的分布情况。表 1<table>table see original document page 4</column></row><table> 本技术的有益效果是综上所述，本技术能够对需测量的太阳能电池硅 片进行精确的位置对准，量测结果可以全面反映硅片表面厚度的分布情况。以下结合附图对本技术进一步说明。附图说明图1是本技术的结构示意图；其中1.第一平台，2.第四平台，3.硅片放置盒，4. X轴插入式固定装置，5. Y轴插 入式固定装置，6.硅片具体实施方式如图1所示的一种太阳能电池厚度量测手动对准载物台，具有测量载物台，测量 载物台从下至上具有第一平台1、第二平台、第三平台和第四平台2，第四平台2上方固定有 一个硅片放置盒3，硅片放置盒3内放置硅片6。第二平台通过X轴滑动机构沿第一平台1在X轴方向移动，第四平台2通过Y轴 滑动机构沿第三平台在Y轴方向移动，第二平台与第三平台相对固定。X轴滑动机构和Y轴 滑动机构均采用滚珠滑槽滑动机构。X轴滑动机构的中间位置设置一个对第二平台进行插入固定的X轴插入式固定装置4。Y轴滑动机构的中间位置设置一个对第四平台进行插入固定的Y轴插入式固定装置5。例如，需测量的硅片尺寸为156*156mm，硅片放置盒尺寸是161*161mm，其第二平 台在X轴方向和第四平台在Y轴方向的移动范围是士68mm。用X轴插入式固定装置4对第二平台进行插入固定，第二平台不能在X轴方向移 动，整个载物台只可以在Y轴方向移动，用Y轴插入式固定装置5对第四平台2进行插入固 定，第四平台2不能在Y轴方向移动，整个载物台只可以在X轴方向移动。量测时，将硅片6放入第四平台2上方的硅片放置盒3，根据表1可以对硅片6进 行精确的位置对准，对硅片6进行九点测量。如表1所示，当第二平台在X轴方向调节到最 左侧位置，第四平台2在Y轴方向调节到最右侧位置的时候，对应硅片6上硅片点1的测量 点，根据椭圆偏振薄膜测量技术，椭偏仪的测量光斑位于硅片点1的测量中心，即可测得硅 片点1处的薄膜厚度；当第二平台在X轴方向调节到中间位置，第四平台在Y轴方向调节到 中间位置的时候，对应硅片上硅片点5的测量点，即硅片的中心，椭偏仪的测量光斑位于硅 片的中心，即可测得硅片点5处即硅片中心的薄膜厚度，依次类推，即可精确得知硅片6表 面九个测量点的薄膜厚度情况，从而可有效的反映硅片6表面薄膜厚度的分布情况。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能电池厚度量测手动对准载物台，用于放置太阳能电池硅片以便对硅片表面薄膜厚度进行量测，具有测量载物台，其特征在于：所述的测量载物台从下至上具有第一平台、第二平台、第三平台和第四平台，第二平台通过Ｘ轴滑动机构沿第一平台在Ｘ轴方向移动，其移动范围至少为硅片在Ｘ轴方向尺寸的０．８倍；第四平台通过Ｙ轴滑动机构沿第三平台在Ｙ轴方向移动，其移动范围至少为硅片在Ｙ轴方向尺寸的０．８倍；第二平台与第三平台相对固定，所述的Ｘ轴滑动机构的中间位置设置有一个对第二平台进行插入固定的Ｘ轴插入式固定装置；所述的Ｙ轴滑动机构的中间位置设置有一个对第四平台进行插入固定的Ｙ轴插入式固定装置。

【技术特征摘要】
一种太阳能电池厚度量测手动对准载物台，用于放置太阳能电池硅片以便对硅片表面薄膜厚度进行量测，具有测量载物台，其特征在于所述的测量载物台从下至上具有第一平台、第二平台、第三平台和第四平台，第二平台通过X轴滑动机构沿第一平台在X轴方向移动，其移动范围至少为硅片在X轴方向尺寸的0.8倍；第四平台通过Y轴滑动机构沿第三平台在Y轴方向移动，其移动范围至少为硅片在Y轴方向尺寸的0.8倍；第二平台与第三平台相对固定，所述的X轴滑动机构的中间位置设置有一个对第...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨文侃，
申请(专利权)人：常州天合光能有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]