【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工设备，具体为一种半导体加工用抛光装置。
技术介绍
1、半导体材料是一类具有半导体性能可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，半导体在加工的过程中需要用到抛光装置。
2、通过检索，公开号为cn217371853u一种半导体加工用抛光装置，其在使用时，通过伺服电机使凸轮带动竖板移动，竖板带动横板移动，横板带动固定板移动，固定板对待抛光的半导体进行限位固定，方便进行抛光处理，当需要翻转半导体时，通过操作控制器启动第二电机，第二电机带动转轴转动，转轴带动第一皮带轮转动，第一皮带轮通过皮带带动第二皮带轮转动，第二皮带轮带动转杆转动，转杆带动固定盒转动，使半导体进行翻转。但是该装置在抛光时，不便于对产生的粉尘进行收集处理，不仅容易影响周围环境，还容易对抛光质量造成影响，且该装置不便于批量对半导体进行加工，在加工效率上有待于提升，因此针对现有问题，需要进行改进。
技术实现思路
1、针对上述情况，为克服当前的技术缺陷，本技术提供了一种除...
【技术保护点】
1.一种半导体加工用抛光装置，包括抛光箱和半导体固定架，其特征在于：还包括抛光组件、储液罐、吸尘箱和安装板，所述半导体固定架设于抛光箱两内侧壁中部，所述安装板滑动设于抛光箱内且位于半导体固定架上方，所述抛光箱上顶壁中部设有液压缸，所述液压缸的输出轴贯穿抛光箱与安装板上中部连接，所述抛光组件设于安装板下端且位于半导体固定架上方，所述储液罐设于抛光箱上顶部一侧，所述吸尘箱对称设于抛光箱两侧：
2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用抛光装置，其特征在于：所述半导体固定架上间隔均布设有多组放置槽，多组所述放置槽前后两端分别对称螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆一端分别...
【技术特征摘要】
1.一种半导体加工用抛光装置，包括抛光箱和半导体固定架，其特征在于：还包括抛光组件、储液罐、吸尘箱和安装板，所述半导体固定架设于抛光箱两内侧壁中部，所述安装板滑动设于抛光箱内且位于半导体固定架上方，所述抛光箱上顶壁中部设有液压缸，所述液压缸的输出轴贯穿抛光箱与安装板上中部连接，所述抛光组件设于安装板下端且位于半导体固定架上方，所述储液罐设于抛光箱上顶部一侧，所述吸尘箱对称设于抛光箱两侧：
2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用抛光装置，其特征在于：所述半导体固定架上间隔均布设有多组放置槽，多组所述放置槽前后两端分别对称螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆一端分别转动设有弧形夹持板，所述弧形夹持板位于放置槽内，所述螺纹杆另一端设...
【专利技术属性】
技术研发人员：申文娟，朱文妹，侯志勇，
申请(专利权)人：天津安联信科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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