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本技术公开了一种半导体加工用抛光装置，包括抛光箱、半导体固定架、抛光组件、储液罐、吸尘箱和安装板，所述抛光箱底部设有导向斜板，所述抛光箱一侧设有排污阀，所述抛光箱前后两端分别设有防护门，所述防护门上设有观察窗，所述半导体固定架设于抛光箱两内...
该专利属于天津安联信科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津安联信科技有限公司授权不得商用。

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