【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及多晶硅生产，尤其涉及基于内部供热生产多晶硅的气固流化床。
技术介绍
1、目前，多晶硅的生产主要采用“改良西门子法”工艺，硅棒被加热至三氯氢硅与氢气的反应温度，气态反应物在大型加热件表面沉积生产多晶硅。一些科研院所和企业开发了“流态化过程”，相比于目前使用的“改良西门子法”，流态化方法在“低能耗，高产能”方面具有压倒性优势，是多晶硅生产工艺的未来发展趋势。流化床方法可采用甲硅烷反应路线，即甲硅烷受热生成多晶硅与氢气。多晶硅在大量的硅颗粒表面沉积，生产过程需要消耗大量的热量。目前，流态化方法多从反应器壁面供热。由于壁面温度高，大量的多晶硅在反应器壁面沉积，降低传热效率，阻碍连续化生产；另外，气固流化床的放大效应复杂，放大后壁面供热面积与体积的比值减小，供热量不足。目前，多晶硅的壁面沉积、流化床放大是制约流态化方法进一步工业化的瓶颈。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的基于内部供热生产多晶硅的气固流化床。
2、为了实现上述目的，本...
【技术保护点】
1.基于内部供热生产多晶硅的气固流化床，包括流化床壳体(1)，其特征在于，所述流化床壳体(1)外壁包覆有冷却套(2)，所述冷却套(2)一侧底端设置有冷却流体进口(3)，所述冷却套(2)一侧顶端设置有冷却流体出口(4)，所述流化床壳体(1)内壁底端可拆卸固定有加热件(9)，所述加热件(9)设置为多个。
2.根据权利要求1所述的基于内部供热生产多晶硅的气固流化床，其特征在于，所述流化床壳体(1)的截面为矩形。
3.根据权利要求1所述的基于内部供热生产多晶硅的气固流化床，其特征在于，所述流化床壳体(1)一侧顶端设置有原料进口(5)，所述流化床壳体(1...
【技术特征摘要】
1.基于内部供热生产多晶硅的气固流化床，包括流化床壳体(1)，其特征在于，所述流化床壳体(1)外壁包覆有冷却套(2)，所述冷却套(2)一侧底端设置有冷却流体进口(3)，所述冷却套(2)一侧顶端设置有冷却流体出口(4)，所述流化床壳体(1)内壁底端可拆卸固定有加热件(9)，所述加热件(9)设置为多个。
2.根据权利要求1所述的基于内部供热生产多晶硅的气固流化床，其特征在于，所述流化床壳体(1)的截面为矩形。
3.根据权利要求1所述的基于内部供热生产多晶硅的气固流化床，其特征在于，所述流化床壳体(1)一侧顶端设置有原料进口(5)，所述流化床壳体(1)上端设置有扩大段(11)，所述扩大段(11)大于流化床壳体(1)...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏晓阳，陈曦，李冬兵，邵媛媛，祝京旭，
申请(专利权)人：宁波诺丁汉大学，
类型：发明
国别省市：
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