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基于内部供热生产多晶硅的气固流化床制造技术
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下载基于内部供热生产多晶硅的气固流化床的技术资料
文档序号:43294611
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本发明公开了基于内部供热生产多晶硅的气固流化床,涉及多晶硅生产技术领域;为了解决现有气固流化床生产多晶硅过程中大量的多晶硅在高温壁面沉积,降低传热效率,阻碍连续化生产的问题;也为了解决现有气固流化床生产多晶硅技术的工业放大问题;气固流化床具...
该专利属于宁波诺丁汉大学所有,仅供学习研究参考,未经过宁波诺丁汉大学授权不得商用。
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