【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及清洗装置，更具体地说，它涉及一种用于光刻胶生产的清洁装置。
技术介绍
1、光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像。
2、目前，在光刻胶的生产工艺流程中，需要对经过精准比例调配后的原料进行均匀混合处理，在此过程中一般会使用到专门的调配釜，而调配釜在使用完后，需要对其内部进行清洁，以便于下次使用；传统的清洁方式是使用清洁装置进行清洁，其清洁过程为，先将调配釜的顶盖拆卸下来，之后把清洁装置安装在调配釜体的顶部，再对调配釜内部进行清洁，清洁完成后，再将清洁装置拆卸下来，再次安装调配釜顶盖安装上去，整个清洁过程中，操作较为繁琐，工作量较大，导致清洁速度缓慢，不利于对多个调配釜进行清洁操作。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供了一种用于光刻胶生产的清洁装置，来解决上述提出的技术问题。
2、本专利技术通过以下技术方案来解决上述存在的技术问题：
3、本专利技术提供了一种用于光刻胶生产的清洁装置，包括：清洗机主体和清洗机构，所述清洗机构包括冲洗部件、连接部件和刮动部件，所述冲洗部件设置在搅拌轴内，其用于将清洗剂喷洒在调配釜主体内壁上；所述连接部件用于将搅拌电机的转动端与搅拌轴的上端传动连接在一起
4、所述清洗机主体输入端通过管道与调配釜主体的排液口连接，其输出端通过输送管件与连接部件连通；所述清洗机主体用于将清洗剂输送至连接部件内，将使用后的清洗剂从调配釜主体内回收并循环使用；
5、在将输送管件的连接端与连接部件连接时，输送管件的连接端驱动冲洗部件由搅拌轴内向外活动展开；在搅拌轴转动时，输送管件的连接端驱动冲洗部件的喷洒端上下摆动，实现对调配釜主体的内壁均匀喷洒清洗剂的功能。
6、作为本专利技术的进一步优化方案，所述冲洗部件包括上进液管道、下输液管道、摆动驱动件和若干喷洒头，搅拌轴内开设有活动槽，所述上进液管道、下输液管道和摆动驱动件均设置在所述活动槽内，所述上进液管道的上端向上贯穿搅拌轴上端后，与连接部件内部滑动连接，所述上进液管道的上端设有进液槽体；
7、所述下输液管道的上端通过弹性伸缩管件与上进液管道的下端连通，其下端与活动槽的内底壁固定连接；所述摆动驱动件安装在上进液管道的外侧，其用于驱动喷洒头在搅拌轴外侧上下摆动；若干喷洒头按照预设排布方式转动安装在搅拌轴的外侧，其一侧通过软管与上进液管道、下输液管道对应连通。
8、作为本专利技术的进一步优化方案，所述摆动驱动件包括齿条和摆动齿轮，所述齿条和摆动齿轮的数量与喷洒头的数量相同，所述齿条的上端与上进液管道的下端固定连接，所述摆动齿轮固定安装在喷洒头的转动端，其一侧与齿条相啮合。
9、作为本专利技术的进一步优化方案，所述连接部件包括支撑座、进液筒体、第一限位柱和第二限位柱，所述支撑座固定安装在调配釜主体的顶部，所述进液筒体的上端与搅拌电机的转动端固定连接，其下端均匀开设有若干进液孔；所述进液筒体的外侧转动套装有外部套筒，所述外部套筒的外侧与支撑座固定连接，所述第一限位柱固定套装在上进液管道的上端，其外侧与活动槽上端滑动连接；所述第二限位柱固定安装在上进液管道的上端，其上端与进液筒体的内部滑动连接。
10、作为本专利技术的进一步优化方案，所述输送管件包括连接头、限位件、挤压件和输送管，所述连接头的一端与输送管的一端固定连通，另一端与外部套筒的一侧螺纹连接；所述限位件转动套装在连接头的外侧，其用于对连接头的两侧进行滑动限位；所述挤压件用于挤压第一限位柱下移。
11、作为本专利技术的进一步优化方案，所述限位件包括限位板和限位滑槽，所述限位滑槽开设在支撑座的上端，所述限位板上端的两侧均安装有限位凸起，所述限位板的上端通过限位凸起与限位滑槽内侧滑动连接。
12、作为本专利技术的进一步优化方案，所述挤压件包括接触凸轴、挤压凸块和接触坡口，所述接触凸轴固定安装在第一限位柱的外侧，所述挤压凸块固定安装在限位板的下端，所述接触坡口设置在第一限位柱的上端，所述挤压凸块用于挤压接触凸轴、接触坡口下移。
13、作为本专利技术的进一步优化方案，所述刮动部件包括伸展驱动件和刮动接触件，所述伸展驱动件与刮动接触件连接，其用于借助清洗液的推力来驱动刮动接触件分别进行向上翻转九十度和水平滑动动作。
14、作为本专利技术的进一步优化方案，所述刮动接触件包括移动块和刮动板，所述移动块贴合设置在搅拌叶的一端，搅拌叶的顶部开设有收缩槽；所述刮动板活动嵌设在收缩槽内，其的一端与所述移动块内部转动连接；所述刮动板的转动端与移动块之间固定安装有扭力弹簧。
15、作为本专利技术的进一步优化方案，所述伸展驱动件包括活塞杆、第一阀门、第二阀门、导流槽、集液槽体、转动齿轮和带动齿板；所述活塞杆的一端与集液槽体内侧滑动连接，另一端滑动贯穿搅拌叶的一端，并与移动块的一侧固定连接；所述活塞杆的外侧套装有复位弹簧，所述集液槽体设置在搅拌叶内，所述复位弹簧的一端与集液槽体的内侧壁固定连接；所述导流槽设置在搅拌轴内，其上端与下输液管道的下端连通，下端与集液槽体的一端连通；所述第一阀门、第二阀门分别设置在导流槽和集液槽体内；所述转动齿轮与刮动板的转动端固定连接，所述带动齿板固定安装在搅拌叶的一端，其顶部与转动齿轮底部相啮合。
16、本专利技术的有益效果在于：
17、在本专利技术设置的清洗机构中，通过将冲洗部件、刮动部件对应设置在调配釜的搅拌轴和搅拌叶，与其构成一体结构使用，在不需要进行清洁时，冲洗部件、刮动部件能够隐藏在搅拌轴和搅拌叶中，不会影响两者正常进行搅拌混合；而在清洁时，只需将清洗机主体分别与连接部件以及调配釜主体排液口连接，并在连接过程和清洗过程中分别驱动冲洗部件和刮动部件展开，配合搅拌轴的转动作用，可分别完成清洗剂的均匀喷洒和杂质的转动刮除动作，省去了对调配釜顶盖的拆装操作，简化了传统的清洁步骤，有利于缩短清洁时间，加快清洁速度，更好地适用于多个调配釜的清洁需要。
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1.一种用于光刻胶生产的清洁装置，包括：清洗机主体（4）和清洗机构（5），其特征在于，所述清洗机构（5）包括冲洗部件（51）、连接部件（52）和刮动部件（53），所述冲洗部件（51）设置在搅拌轴（2）内，其用于将清洗剂喷洒在调配釜主体（1）内壁上；所述连接部件（52）用于将搅拌电机（8）的转动端与搅拌轴（2）的上端传动连接在一起，其内部与冲洗部件（51）上端活动连通；所述刮动部件（53）设置在搅拌叶（3）内，其用于对调配釜主体（1）的内壁进行刮动清洁；所述刮动部件（53）与冲洗部件（51）下端连通，清洗剂由冲洗部件（51）进入到刮动部件（53）内后，驱动刮动部件（53）向调配釜主体（1）的内壁滑动靠近，并向上翻转展开与调配釜主体（1）的内壁贴合；
2.根据权利要求1所述的用于光刻胶生产的清洁装置，其特征在于，所述冲洗部件（51）包括上进液管道（511）、下输液管道（512）、摆动驱动件和若干喷洒头（513），搅拌轴（2）内开设有活动槽（7），所述上进液管道（511）、下输液管道（512）和摆动驱动件均设置在所述活动槽（7）内，所述上进液管道（511）的上端向上贯穿搅拌
3.根据权利要求2所述的用于光刻胶生产的清洁装置，其特征在于，所述摆动驱动件包括齿条（515）和摆动齿轮（516），所述齿条（515）和摆动齿轮（516）的数量与喷洒头（513）的数量相同，所述齿条（515）的上端与上进液管道（511）的下端固定连接，所述摆动齿轮（516）固定安装在喷洒头（513）的转动端，其一侧与齿条（515）相啮合。
4.根据权利要求3所述的用于光刻胶生产的清洁装置，其特征在于，所述连接部件（52）包括支撑座（521）、进液筒体（522）、第一限位柱（523）和第二限位柱（524），所述支撑座（521）固定安装在调配釜主体（1）的顶部，所述进液筒体（522）的上端与搅拌电机（8）的转动端固定连接，其下端均匀开设有若干进液孔（525）；所述进液筒体（522）的外侧转动套装有外部套筒（526），所述外部套筒（526）的外侧与支撑座（521）固定连接，所述第一限位柱（523）固定套装在上进液管道（511）的上端，其外侧与活动槽（7）上端滑动连接；所述第二限位柱（524）固定安装在上进液管道（511）的上端，其上端与进液筒体（522）的内部滑动连接。
5.根据权利要求4所述的用于光刻胶生产的清洁装置，其特征在于，所述输送管件（6）包括连接头（61）、限位件、挤压件和输送管（62），所述连接头（61）的一端与输送管（62）的一端固定连通，另一端与外部套筒（526）的一侧螺纹连接；所述限位件转动套装在连接头（61）的外侧，其用于对连接头（61）的两侧进行滑动限位；所述挤压件用于挤压第一限位柱（523）下移。
6.根据权利要求5所述的用于光刻胶生产的清洁装置，其特征在于，所述限位件包括限位板（63）和限位滑槽（64），所述限位滑槽（64）开设在支撑座（521）的上端，所述限位板（63）上端的两侧均安装有限位凸起（65），所述限位板（63）的上端通过限位凸起（65）与限位滑槽（64）内侧滑动连接。
7.根据权利要求6所述的用于光刻胶生产的清洁装置，其特征在于，所述挤压件包括接触凸轴（66）、挤压凸块（67）和接触坡口（68），所述接触凸轴（66）固定安装在第一限位柱（523）的外侧，所述挤压凸块（67）固定安装在限位板（63）的下端，所述接触坡口（68）设置在第一限位柱（523）的上端，所述挤压凸块（67）用于挤压接触凸轴（66）、接触坡口（68）下移。
8.根据权利要求7所述的用于光刻胶生产的清洁装置，其特征在于，所述刮动部件（53）包括伸展驱动件和刮动接触件，所述伸展驱动件与刮动接触件连接，其用于借助清洗液的推力来驱动刮动接触件分别进行向上翻转九十度和水平滑动动作。
9.根据权利要求8所述的用于光刻胶生产的清洁装置，其特征在于，所述刮动接触件包括移动块（531）和刮动板（532），所述移动块（531）贴合设置在搅拌叶（3）的一端，搅拌叶（3）的顶部开设有收缩槽（533）；所述刮动板（532）活动嵌设在收缩槽（533）内，其的一端与所述移动块（531）内部转动连接；所述刮动板（532）的转动端与移动块（531）之间固定安装有扭力弹簧（5312）。
10.根据权利要求9所述的用于光刻胶生产的清洁装置，其特征在于，所述伸展驱动件包括活塞杆（534）、第一阀门（535）、第二阀门（536）、导流槽（537）、集液槽体（538）、转动齿轮（539）和...
【技术特征摘要】
1.一种用于光刻胶生产的清洁装置，包括：清洗机主体（4）和清洗机构（5），其特征在于，所述清洗机构（5）包括冲洗部件（51）、连接部件（52）和刮动部件（53），所述冲洗部件（51）设置在搅拌轴（2）内，其用于将清洗剂喷洒在调配釜主体（1）内壁上；所述连接部件（52）用于将搅拌电机（8）的转动端与搅拌轴（2）的上端传动连接在一起，其内部与冲洗部件（51）上端活动连通；所述刮动部件（53）设置在搅拌叶（3）内，其用于对调配釜主体（1）的内壁进行刮动清洁；所述刮动部件（53）与冲洗部件（51）下端连通，清洗剂由冲洗部件（51）进入到刮动部件（53）内后，驱动刮动部件（53）向调配釜主体（1）的内壁滑动靠近，并向上翻转展开与调配釜主体（1）的内壁贴合；
2.根据权利要求1所述的用于光刻胶生产的清洁装置，其特征在于，所述冲洗部件（51）包括上进液管道（511）、下输液管道（512）、摆动驱动件和若干喷洒头（513），搅拌轴（2）内开设有活动槽（7），所述上进液管道（511）、下输液管道（512）和摆动驱动件均设置在所述活动槽（7）内，所述上进液管道（511）的上端向上贯穿搅拌轴（2）上端后，与连接部件（52）内部滑动连接，所述上进液管道（511）的上端设有进液槽体（514）；
3.根据权利要求2所述的用于光刻胶生产的清洁装置，其特征在于，所述摆动驱动件包括齿条（515）和摆动齿轮（516），所述齿条（515）和摆动齿轮（516）的数量与喷洒头（513）的数量相同，所述齿条（515）的上端与上进液管道（511）的下端固定连接，所述摆动齿轮（516）固定安装在喷洒头（513）的转动端，其一侧与齿条（515）相啮合。
4.根据权利要求3所述的用于光刻胶生产的清洁装置，其特征在于，所述连接部件（52）包括支撑座（521）、进液筒体（522）、第一限位柱（523）和第二限位柱（524），所述支撑座（521）固定安装在调配釜主体（1）的顶部，所述进液筒体（522）的上端与搅拌电机（8）的转动端固定连接，其下端均匀开设有若干进液孔（525）；所述进液筒体（522）的外侧转动套装有外部套筒（526），所述外部套筒（526）的外侧与支撑座（521）固定连接，所述第一限位柱（523）固定套装在上进液管道（511）的上端，其外侧与活动槽（7）上端滑动连接；所述第二限位柱（524）固定安装在上进液管道（511）的上端，其上端与进液筒体（522）的内部滑动连接。
5.根据权利要求4所述的用于光刻胶生产的清洁装置，其特征在于，所述输送管件（6）包括连接头（61）、限位件、挤压件和输送管（62），所述连接头（61）的一端与输送管（62）的一端固定连通，另一端与外部套筒（526）的一侧螺...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈峰，朱建华，
申请(专利权)人：明贤电子材料科技南通有限公司，
类型：发明
国别省市：
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