下载一种用于光刻胶生产的清洁装置的技术资料

文档序号:43283762

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本发明涉及清洗装置技术领域,公开了一种用于光刻胶生产的清洁装置,包括:清洗机主体和清洗机构,所述清洗机构包括冲洗部件、连接部件和刮动部件,所述冲洗部件设置在搅拌轴内,其用于将清洗剂喷洒在调配釜主体内壁上。在本发明设置的清洗机构中,通过将冲洗...
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