硅粒纯度过渡检测仓制造技术

技术编号:43281851 阅读:28 留言:0更新日期:2024-11-12 16:05
本申请涉及硅粒纯度检测技术领域,尤其是涉及一种硅粒纯度过渡检测仓,包括存料罐、滤水管道、输送箱、排风扇、氢氟酸蓄罐、加热底座和收集组件,所述存料罐的下料口与所述滤水管道的顶部进水端相卡接,所述滤水管道的外侧贯穿所述输送箱的顶部内侧与所述输送箱的内表面紧密贴合,所述排风扇等间距排布在所述输送箱的外侧,所述氢氟酸蓄罐卡接在所述加热底座的顶部,所述收集组件螺纹连接在所述氢氟酸蓄罐的排气端外侧。本申请的硅粒纯度过渡检测仓,采用氢氟酸加热溶解的方式生成四氟化硅气体,并通过测量气体的体积或质量来计算硅的含量,从而间接反映硅粒的纯度,整体设备成本较低,且检测精准。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及硅粒纯度检测,尤其是涉及一种硅粒纯度过渡检测仓


技术介绍

1、硅粒纯度检测仓指的是用于进行硅粒纯度检测的设备或环境区域。在硅粒纯度检测中,通常关注的是硅粒中的杂质含量、晶体结构、晶格缺陷等指标,以确保硅粒的纯度达到特定要求,根据硅粒的特性和检测需求,选择合适的检测方法,如电感耦合等离子体质谱法、原子吸收光谱法、傅里叶变换红外光谱等,确定检测所需遵循的标准或规范,以确保检测结果的准确性和可比性。

2、经检索,公开号:cn217305089u公布了一种半导体用硅部件加工用纯度检测装置,通过设置固定壳、第二弹簧和限位块的配合使用,当工作人员需要纯度检测装置自动固定硅部件时,工作人员将硅部件放入固定壳的内腔中,随后硅部件带动限位块向两边移动,限位块移动的同时对第二弹簧进行挤压,当硅部件放置好之后,第二弹簧带动限位块对硅部件进行加紧,即可完成对硅部件进行固定,通过设置支架和滚轮的配合使用,使纯度检测装置可以进行移动,同时滚轮也起到了一定的支撑作用。

3、针对上述中的相关技术,专利技术人认为存在以下有待改进的技术缺陷:

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅粒纯度过渡检测仓,其特征在于,包括溶解式纯度检测机构(1),所述溶解式纯度检测机构(1)包括存料罐(11)、滤水管道(12)、输送箱(13)、排风扇(14)、氢氟酸蓄罐(15)、加热底座(16)和收集组件(17),所述存料罐(11)的下料口与所述滤水管道(12)的顶部进水端相卡接,所述滤水管道(12)的外侧贯穿所述输送箱(13)的顶部内侧与所述输送箱(13)的内表面紧密贴合,所述排风扇(14)等间距排布在所述输送箱(13)的外侧,所述氢氟酸蓄罐(15)卡接在所述加热底座(16)的顶部,所述收集组件(17)螺纹连接在所述氢氟酸蓄罐(15)的排气端外侧,所述存料罐(11)的内部还设...

【技术特征摘要】

1.一种硅粒纯度过渡检测仓,其特征在于,包括溶解式纯度检测机构(1),所述溶解式纯度检测机构(1)包括存料罐(11)、滤水管道(12)、输送箱(13)、排风扇(14)、氢氟酸蓄罐(15)、加热底座(16)和收集组件(17),所述存料罐(11)的下料口与所述滤水管道(12)的顶部进水端相卡接,所述滤水管道(12)的外侧贯穿所述输送箱(13)的顶部内侧与所述输送箱(13)的内表面紧密贴合,所述排风扇(14)等间距排布在所述输送箱(13)的外侧,所述氢氟酸蓄罐(15)卡接在所述加热底座(16)的顶部,所述收集组件(17)螺纹连接在所述氢氟酸蓄罐(15)的排气端外侧,所述存料罐(11)的内部还设置有清洁组件(2);

2.根据权利要求1所述的硅粒纯度过渡检测仓,其特征在于,所述清洁组件(2)包括步进电机(21)、耐腐蚀轴(22)和搅拌架(23),所述步进电机(21)安装在所述存料罐(11)的顶部,所述耐腐蚀轴(22)的顶部通过联轴器与所述步进电机(21)的电机轴固定连接,所述搅拌架(23)焊接在所述耐腐蚀轴(22)的外侧。

3.根据权利要求2所述的硅粒纯度过渡检测仓,其特征在于,所述存料罐(11)的顶部还设置有进水管(3)和水泵(4),所述水泵(4)的输出端与所述进水管(3)的一侧固定连接,所述进水管(3)贯穿所述存料罐(11)的顶部内壁与所述存料罐(11)的内表面紧密贴合。

4.根据权利要求1所述的硅粒纯度过渡检测仓,其特征在于,所述滤水管道(12)上还设置有滴水管(5)和筛网滤筒(6),所述筛网滤筒(6)安装在所述滤水管道(12)的内部,所述滴水管(5)等间距排布在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:仲银范艳华陈龙
申请(专利权)人:湖北麦格森特新材料科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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