一种多晶硅生产用的提纯除杂装置制造方法及图纸

技术编号:45196912 阅读:9 留言:0更新日期:2025-05-09 18:48
本申请涉及多晶硅生产设备领域,公开了一种多晶硅生产用的提纯除杂装置,包括保温箱以及设置在保温箱内部的料筒,所述料筒固定安装在保温箱的底部内壁上,料筒的顶部为开口构造,料筒的外侧壁上固定安装有环状加热器,保温箱的顶部固定安装有液压缸,液压缸的输出轴端延伸至保温箱内并固定安装有盖板,盖板的底部与料筒的顶部接触,盖板上设置有用于翻动熔融多晶硅的翻料机构。本申请具有以下优点和效果:在对多晶硅材料进行加热熔融处理时,能够对多晶硅材料进行全面翻料,增快多晶硅材料的熔融,保证多晶硅材料受热均匀,提高提纯除杂的品质和效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及多晶硅生产设备,特别涉及一种多晶硅生产用的提纯除杂装置


技术介绍

1、多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。多晶硅具有半导体性质,是极为重要的优良半导体材料。在生产多晶硅时,需要进行提纯除杂工序。

2、相关技术中,在对多晶硅进行提纯除杂时,常用的方法是将多晶硅加热至熔点以上,然后缓慢冷却,使杂质元素扩散到液相区形成sio2,然后去除废料后制成单晶硅,从而实现提纯的目的,但是,在对多晶硅除杂处理时,对多晶硅材料进行加热熔融时,常常会出现在熔融至一半时固体由于密度小于熔融物密度会漂浮在熔融物上,使得剩余的固体难以与加热器所产生的热量接触,从而使得剩余的固体受热效果大大降低,受热不均匀,降低了熔融反应的速率,进而影响除杂提纯的效率和品质,因此,我们提出一种多晶硅生产用的提纯除杂装置用于解决上述问题。


技术实现思路

1、本申请的目的是提供一种多晶硅生产用的提纯除杂装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多晶硅生产用的提纯除杂装置,其特征在于,包括保温箱(1)以及设置在保温箱(1)内部的料筒(3),所述料筒(3)固定安装在所述保温箱(1)的底部内壁上,所述料筒(3)的顶部为开口构造,所述料筒(3)的外侧壁上固定安装有环状加热器(4),所述保温箱(1)的顶部固定安装有液压缸(5),所述液压缸(5)的输出轴端延伸至保温箱(1)内并固定安装有盖板(6),所述盖板(6)的底部与所述料筒(3)的顶部接触,所述盖板(6)上设置有用于翻动熔融多晶硅的翻料机构。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产用的提纯除杂装置,其特征在于:所述盖板(6)的直径尺寸大于所述料筒(3)的外径尺寸。...

【技术特征摘要】

1.一种多晶硅生产用的提纯除杂装置,其特征在于,包括保温箱(1)以及设置在保温箱(1)内部的料筒(3),所述料筒(3)固定安装在所述保温箱(1)的底部内壁上,所述料筒(3)的顶部为开口构造,所述料筒(3)的外侧壁上固定安装有环状加热器(4),所述保温箱(1)的顶部固定安装有液压缸(5),所述液压缸(5)的输出轴端延伸至保温箱(1)内并固定安装有盖板(6),所述盖板(6)的底部与所述料筒(3)的顶部接触,所述盖板(6)上设置有用于翻动熔融多晶硅的翻料机构。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产用的提纯除杂装置,其特征在于:所述盖板(6)的直径尺寸大于所述料筒(3)的外径尺寸。

3.根据权利要求1所述的多晶硅生产用的提纯除杂装置,其特征在于:所述翻料机构包括空心竖轴(7)、连接座(8)、两个搅拌轴(9)、多个翻料杆(10)、电机(11)、主动伞齿轮(12)和从动伞齿轮(13),所述空心竖轴(7)转动安装在所述盖板(6)的顶部中心部位,所述空心竖轴(7)的底端延伸至所述料筒(3)内,所述连接座(8)固定安装在所述空心竖轴(7)的底端,两个所述搅拌轴(9)分别转动安装在所述连接座(8)的两侧,多个所述翻料杆(10)固定安装在两个所述搅拌轴(9)上并呈均匀分布,所述电机(11)固定安装在所述盖板(6)的顶部,所述主动伞齿轮(12)固定安装在所述电机(11)的输出轴端,所述从动伞齿轮(13)固定套装...

【专利技术属性】
技术研发人员:范艳华陈龙
申请(专利权)人:湖北麦格森特新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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