一种mems传声器制造技术

技术编号:4326772 阅读:203 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种mems传声器,包括基板,基板上粘贴有MEMS传感器和处理芯片,基板上安装有罩住MEMS传感器和处理芯片的外壳,外壳上设有音孔,MEMS传感器与处理芯片构成电连接,与MEMS传感器相邻的基板侧面粘贴有层状腔体片,MEMS传感器粘贴在腔体片上,腔体片的温度系数与MEMS传感器的温度系数相同或接近。处理芯片也粘贴在腔体片上。采用这种结构的mems传声器,结构合理,热稳定性强,适于在各种声电转换场合使用,尤其适合在温度变化较大的声电转换场合使用。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种mems传声器。
技术介绍
传声器是将声音信号转换成代表声音电信号的电子器件,目前社会上常见的传声 器主要是驻极体式传声器和mems传声器,驻极体式传声器的应用时间较长,技术相对成 熟,mems传声器是近几年发展起来的一种新型传感器,传统的mems传声器包括基板,基板 上粘贴有MEMS传感器和处理芯片,基板上安装有罩住MEMS传感器和处理芯片的外壳,外壳 上设有音孔,MEMS传感器与处理芯片构成电连接,这样,当声音通过音孔进入外壳时,MEMS 传感器便对该声音震动产生反应,并将该声音信号转换成代表该声音信号的电信号,该电 信号通过导线输送到基板上的处理芯片,由处理芯片作信号处理后通过基板将电信号传输 到外部电子设备上。传统mems传声器因为结构简单、组装方便,现在应用的越来越多,但传 统mems传声器的不足之处在于MEMS传声器工作时的环境温度变化范围较大,传感器芯片 放在基板上,制作MEMS传感器的材料和制作基板的材料是不一样的,两者的温度系数就有 差别。这样,在温度发生变化时,两种材料的物理变化就不同,会带来产品性能的不稳定性。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是针本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种mems传声器,包括基板(1),基板(1)上粘贴有MEMS传感器(2)和处理芯片(3),基板(1)上安装有罩住MEMS传感器(2)和处理芯片(3)的外壳(4),外壳(4)上设有音孔(5),MEMS传感器(2)与处理芯片(3)构成电连接,其特征是:与MEMS传感器(2)相邻的基板(1)侧面粘贴有层状腔体片(6),MEMS传感器(2)粘贴在腔体片(6)上,腔体片(6)的温度系数与MEMS传感器(2)的温度系数相同或接近。

【技术特征摘要】
一种mems传声器,包括基板(1),基板(1)上粘贴有MEMS传感器(2)和处理芯片(3),基板(1)上安装有罩住MEMS传感器(2)和处理芯片(3)的外壳(4),外壳(4)上设有音孔(5),MEMS传感器(2)与处理芯片(3)构成电连接,其特征是与M...

【专利技术属性】
技术研发人员:滕大成刘加校
申请(专利权)人:潍坊新港电子有限公司
类型:实用新型
国别省市:37[中国|山东]

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