【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产，具体涉及一种半导体腔体盖板升降机构。
技术介绍
1、半导体腔体上需要安装盖板，工作人员打开盖板在半导体腔体内部进行其他操作，由于半导体腔体的特殊构造，盖板的开合较为困难，直接人工操作开合会有意外受伤风险，水平空间受限也会导致盖板开启不方便。因此，亟需一种新的技术方案解决上述至少一个技术问题。
技术实现思路
1、本技术目的是提供一种半导体腔体盖板升降机构，避免人工抬起放下的意外受伤风险，能使盖板改变角度实现开合以进行作业，合理利用空间。
2、为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本技术所采用的技术方案是：一种半导体腔体盖板升降机构，包括滑轨、可操纵地转动插设于所述滑轨上的丝杆、可滑动设置在所述滑轨上的滑块、可拆卸插设于所述滑块上的丝母、可拆卸设置于所述滑轨上的导向柱、可转动设置于所述滑块上的盖板，所述滑轨外侧设置有限位柱，所述丝母可转动套设于所述丝杆，所述导向柱插设于所述滑块内，所述盖板一端位于所述限位柱下方。
3、作为优选的技术方案，所述滑...
【技术保护点】
1.一种半导体腔体盖板升降机构，其特征在于，包括沿竖向设置的滑轨、可操纵地转动插设于所述滑轨上的丝杆、可滑动设置在所述滑轨上的滑块、可拆卸插设于所述滑块上的丝母、可拆卸设置于所述滑轨上的导向柱、可转动设置于所述滑块上的盖板，所述滑轨外侧设置有限位柱，所述丝母可转动套设于所述丝杆，所述导向柱插设于所述滑块内，所述盖板一端位于所述限位柱下方。
2.根据权利要求1所述的一种半导体腔体盖板升降机构，其特征在于，所述滑轨包括底座、可拆卸设置于所述底座两侧的第一安装块和第二安装块，所述丝杆可转动插设于所述第一安装块，所述导向柱下端与所述第二安装块可拆卸连接，所述丝杆下...
【技术特征摘要】
1.一种半导体腔体盖板升降机构，其特征在于，包括沿竖向设置的滑轨、可操纵地转动插设于所述滑轨上的丝杆、可滑动设置在所述滑轨上的滑块、可拆卸插设于所述滑块上的丝母、可拆卸设置于所述滑轨上的导向柱、可转动设置于所述滑块上的盖板，所述滑轨外侧设置有限位柱，所述丝母可转动套设于所述丝杆，所述导向柱插设于所述滑块内，所述盖板一端位于所述限位柱下方。
2.根据权利要求1所述的一种半导体腔体盖板升降机构，其特征在于，所述滑轨包括底座、可拆卸设置于所述底座两侧的第一安装块和第二安装块，所述丝杆可转动插设于所述第一安装块，所述导向柱下端与所述第二安装块可拆卸连接，所述丝杆下端滑动插设于所述导向柱上端。
3.根据权利要求2所述的一种半导体腔体盖板升降机构，其特征在于，所述第一安装块外侧可拆卸设置有防护板，所述滑块位于所述防护板内。
4.根据权利要求1所述的一种半导体腔体盖板升降机构，其特征在于，所述滑块外侧设置有凸起部，所述盖板上插设...
【专利技术属性】
技术研发人员：安飞，游利，陈彦娥，孟乐，林枫，
申请(专利权)人：无锡先研新材科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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