【技术实现步骤摘要】
本专利技术总体上涉及用于测试击穿电压的装置和方法，更具体地，涉及用于测试击穿电压的具有加压室的接触器以及相关方法。
技术介绍
1、接触器是半导体行业中使用的用于在器件两端施加电压以执行电压隔离和击穿测试的装置，这对于半导体装置尤其重要。帕邢定律(paschen’s law)指出，击穿电压是压力的函数，并且随着相对于环境压力的压力升高而增大。类似地，击穿电压在相对于环境压力的真空度升高时也会增大。然而，没有传统的接触器利用了在一般环境压力以外的压力下进行电压隔离和击穿测试的优点。
2、因此，需要用于在一般环境压力以外的压力下进行电压隔离和击穿测试的接触器和相关方法。
技术实现思路
1、术语实施方案和类似术语，例如实现、构成、方面、示例和选项，旨在广泛地指代本公开和所附权利要求的所有主题。包含这些术语的陈述应被理解为不限制本文说明的主题或限制所附权利要求的含义或范围。本文涵盖的本公开的实施方案由所附权利要求而不是由
技术实现思路
来限定。该
技术实现思路
是本公开的各个方面的高级概述，并且...
【技术保护点】
1.一种用于在器件两端施加测试电压的接触器，所述接触器包括：
2.根据权利要求1所述的接触器，其中第一壳体部和第二壳体部由非柔性材料制成，所述接触器还包括：
3.根据权利要求1所述的接触器，还包括：
4.根据权利要求1所述的接触器，其中第一壳体部包括多个部段，所述接触器还包括：
5.根据权利要求1所述的接触器，还包括：
6.根据权利要求5所述的接触器，其中所述至少一个腔室用致动器是气动的，所述接触器还包括被构造为供给加压气体以用于致动所述至少一个腔室用致动器的气体进口。
7.根据权利要求6所述的接...
【技术特征摘要】
1.一种用于在器件两端施加测试电压的接触器，所述接触器包括：
2.根据权利要求1所述的接触器，其中第一壳体部和第二壳体部由非柔性材料制成，所述接触器还包括：
3.根据权利要求1所述的接触器，还包括：
4.根据权利要求1所述的接触器，其中第一壳体部包括多个部段，所述接触器还包括：
5.根据权利要求1所述的接触器，还包括：
6.根据权利要求5所述的接触器，其中所述至少一个腔室用致动器是气动的，所述接触器还包括被构造为供给加压气体以用于致动所述至少一个腔室用致动器的气体进口。
7.根据权利要求6所述的接触器，其中用于对所述封闭室加压的加压气体和用于致动所述至少一个腔室用致动器的加压气体来自同一源。
8.根据权利要求1所述的接触器，还包括：
9.根据权利要求8所述的接触器，还包括：
10.根据权利要求8所述的接触器，其中所述轨道布置成基于重力引导所述器件进出所述测试位点。
11.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：斯蒂芬·约翰逊，丹尼尔·马里亚诺，戴维·奥斯滕多夫，
申请(专利权)人：波士顿半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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