【技术实现步骤摘要】
本技术涉及蒸镀设备，具体为一种用于不同膜层共腔蒸镀的蒸发源装置。
技术介绍
1、oled蒸镀机蒸发源是oled面板制造的关键设备，它利用高温将有机材料加热至蒸发状态，然后通过一定的方式将其沉积在基片上，形成oled器件的有机构件，传统在使用蒸发源蒸镀oled器件结束后，蒸发源中的蒸镀材料的补充作业、设备的维护作业等均需要在将被加热的蒸发源冷却至一定的温度后进行，但是如果仅通过停止对蒸发源的加热并放置在真空环境中自然冷却，要将蒸发源冷却到所需的温度有时需要几个小时甚至十几个小时，严重影响生产效率。
2、为了解决上述现有技术存在的不足经检索发现：授权公告号为cn111748773a公开了一种蒸发源和蒸镀装置，包括循环冷却通道，所述循环冷却通道包括隔热腔室循环冷却通道和内部循环冷却通道，所述隔热腔室循环冷却通道设置于所述隔热壁内，所述内部循环冷却通道设置于所述隔热腔室内部，本专利技术利用冷却介质直接对蒸发源进行降温，以使得蒸发源能够在短时间内即可达到所需温度，提高设备生产稼动率，提高生产效率。
3、虽然该方案实现了，利...
【技术保护点】
1.一种用于不同膜层共腔蒸镀的蒸发源装置，其特征在于，包括：基座(1)、蒸发源(2)、腔体(3)和腔体盖板(4)，所述基座(1)上方设置有腔体(3)，所述腔体(3)用于容纳材料蒸汽；
2.根据权利要求1所述的一种用于不同膜层共腔蒸镀的蒸发源装置，其特征在于，蒸发源(2)主要由坩埚(5)构成，同时配备了加热装置(6)、反射体(7)和隔热腔室(8)，所述坩埚(5)设于腔体(3)内部，用于容纳蒸镀材料，所述加热装置(6)套设在坩埚(5)的圆周外表面，所述反射体(7)套设在加热装置(6)的圆周外表面，所述隔热腔室(8)环绕套设在反射体(7)和加热盖体(9)外部。<...
【技术特征摘要】
1.一种用于不同膜层共腔蒸镀的蒸发源装置，其特征在于，包括：基座(1)、蒸发源(2)、腔体(3)和腔体盖板(4)，所述基座(1)上方设置有腔体(3)，所述腔体(3)用于容纳材料蒸汽；
2.根据权利要求1所述的一种用于不同膜层共腔蒸镀的蒸发源装置，其特征在于，蒸发源(2)主要由坩埚(5)构成，同时配备了加热装置(6)、反射体(7)和隔热腔室(8)，所述坩埚(5)设于腔体(3)内部，用于容纳蒸镀材料，所述加热装置(6)套设在坩埚(5)的圆周外表面，所述反射体(7)套设在加热装置(6)的圆周外表面，所述隔热腔室(8)环绕套设在反射体(7)和加热盖体(9)外部。
3.根据权利要求2所述的一种用于不同膜层共腔蒸镀的蒸发源装置，其特征在于，所述坩埚(5)顶端设置有加热盖体(9)，所述加热盖体(9)内部设置有条状电阻丝(10)，所述条状电阻丝(10)以螺旋环绕的方式在同一水平面上形成至少一个回圈，所述加热盖体(9)内设有三个出气管(24)，所述出气管(24)贯穿加热盖体(9)和隔热腔室(8)并连通坩埚(5)的内部与外部，两侧出气管(24)出气端连接有弯管通道(23)，所述弯管通道(23)末端安装有喷口(11)，中部出气管(24)一侧安装有压力调节阀(25)，所述出气管(24)出气端连接喷...
【专利技术属性】
技术研发人员：王治学，陈景升，张正才，
申请(专利权)人：安徽微迈思科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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