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本技术涉及蒸镀设备技术领域，尤其为一种用于不同膜层共腔蒸镀的蒸发源装置，包括基座、蒸发源、腔体和腔体盖板，所述基座上方设置有腔体，所述腔体用于容纳材料蒸汽；所述腔体内底部设置有蒸发源，所述蒸发源用于加热蒸镀材料使之气化蒸发；所述腔体顶端设置...
该专利属于安徽微迈思科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽微迈思科技有限公司授权不得商用。

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