【技术实现步骤摘要】
本申请涉及真空镀膜，尤其是涉及一种真空镀膜机的靶材绝缘保护机构及靶材总装。
技术介绍
1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，然而现有的真空镀膜机其靶材在长时间工作后，其高温颗粒会溅射到绝缘套上，其高温颗粒会烧损绝缘套，导致靶材与绝缘套连点，导致镀膜机无法正常镀膜。
2、现有技术虽然可以保护内部靶材，但是无法保护内部绝缘套不被靶材所喷射出的高温颗粒损坏导致的内部靶材与绝缘套连电的问题
技术实现思路
1、为了克服现有技术中存在的问题，本申请提供一种真空镀膜机的靶材绝缘保护机构及靶材总装。
2、本申请提供的一种真空镀膜机的靶材绝缘保护机构及靶材总装采用如下的技术方案：
3、一种真空镀膜机的靶材绝缘保护机构，包括旋转座，旋转座的底部与靶材连接，顶部贯穿绝缘轴承并与绝缘轴承的内圈固定连接；固定座，...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜机的靶材绝缘保护机构，其特征在于：包括旋转座(1)，所述旋转座(1)的底部与靶材(3)连接，顶部贯穿绝缘轴承(4)并与绝缘轴承(4)的内圈(41)固定连接；
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的靶材绝缘保护机构，其特征在于：所述旋转座(1)的端部设有用于绝缘轴承(4)套装的安装圆柱(11)，其中安装圆柱(11)的外径小于旋转座(1)主体，其中安装圆柱(11)远离旋转座(1)的一端环形开设有第一卡槽(111)，所述第一卡槽(111)内安装有用于将绝缘轴承(4)限位在安装圆柱(11)上的第一卡簧(112)。
3.根据权利要求2所...
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的靶材绝缘保护机构，其特征在于：包括旋转座(1)，所述旋转座(1)的底部与靶材(3)连接，顶部贯穿绝缘轴承(4)并与绝缘轴承(4)的内圈(41)固定连接；
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的靶材绝缘保护机构，其特征在于：所述旋转座(1)的端部设有用于绝缘轴承(4)套装的安装圆柱(11)，其中安装圆柱(11)的外径小于旋转座(1)主体，其中安装圆柱(11)远离旋转座(1)的一端环形开设有第一卡槽(111)，所述第一卡槽(111)内安装有用于将绝缘轴承(4)限位在安装圆柱(11)上的第一卡簧(112)。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机的靶材绝缘保护机构，其特征在于：所述旋转座(1)与靶材(3)的连接处开设有若干条密封槽(12)，且靶材(3)的端部与旋转座(1)最内侧的密封槽(12)壁抵接固定。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的靶材绝缘保护机构，其特征在于：所述固定座(2)靠近旋转座(1)的一侧开设有容纳绝缘套(5)的圆柱腔(21)，其中圆柱腔(21)的内径大于固定座(2)主体的内径，且靠近圆柱腔(21)的开口端设有第二卡...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱波，沈锋，李学法，张国平，
申请(专利权)人：江阴纳力新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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