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本申请涉及真空镀膜技术领域，一种真空镀膜机的靶材绝缘保护机构及靶材总装，旋转座的底部与靶材连接，顶部贯穿绝缘轴承并与绝缘轴承的内圈固定连接；固定座套装在旋转座上，固定座的内壁上固定安装有绝缘套，绝缘套的内部与绝缘轴承的外圈固定连接，固定座的...
该专利属于江阴纳力新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江阴纳力新材料科技有限公司授权不得商用。

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