【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，具体为一种正硅酸乙酯的汽化器。
技术介绍
1、在半导体硅抛光片加工制造过程中，有一道工序是需要在硅抛光片晶圆背面催生长成一层二氧化硅膜。这种二氧化硅膜的催生方法有二种，一种是硅烷氧化催生方法，另一种是大部分生产制造单位都采用的正硅酸乙酯加热氧化分解法，通过加热，将正硅酸乙酯气体输送到背封炉内，以达到使硅抛光片晶圆背面生长一层二氧化硅膜的目的。
2、如公告号为cn204874831 u的技术，公开的一种新型正硅酸乙酯气体供应装置，利用正硅酸乙酯在20度以上即可生成饱和蒸汽压的特性，通过对放置在水箱内盛装正硅酸乙酯液体的桶式容器进行水温加热和温度控制，使正硅酸乙酯液体生成饱和蒸汽压并与真空泵产生的真空形成压力差，通过输气管道送入使用设备。
3、然而上述申请中的汽化设备在对正硅酸乙酯加热汽化过程中，由于缺少混合均匀措施，导致放置在容器桶内的正硅酸乙酯与加热的水流接触面积有限，而正硅酸乙酯受热汽化速率不佳，从而降低了正硅酸乙酯汽化供气效率，故而提出一种正硅酸乙酯的汽化器来解决上述问题。
【技术保护点】
1.一种正硅酸乙酯的汽化器，包括汽化仓(1)，其特征在于：所述汽化仓(1)的正面通过铰链铰接有仓门(2)，所述仓门(2)上设置有控制面板(3)，所述汽化仓(1)上设置有汽化件(4)；
2.根据权利要求1所述的一种正硅酸乙酯的汽化器，其特征在于：所述泄压阀(412)安装在出气管(43)靠近盖板(42)的一端上，所述出气管(43)贯穿汽化仓(1)的一端以及放置筒(46)的外侧均套设有保温棉(415)。
3.根据权利要求1所述的一种正硅酸乙酯的汽化器，其特征在于：所述传动件(414)包括数量为四个的传动轮，所述传动轮的外侧套设有活动皮带，四个所述传动...
【技术特征摘要】
1.一种正硅酸乙酯的汽化器，包括汽化仓(1)，其特征在于：所述汽化仓(1)的正面通过铰链铰接有仓门(2)，所述仓门(2)上设置有控制面板(3)，所述汽化仓(1)上设置有汽化件(4)；
2.根据权利要求1所述的一种正硅酸乙酯的汽化器，其特征在于：所述泄压阀(412)安装在出气管(43)靠近盖板(42)的一端上，所述出气管(43)贯穿汽化仓(1)的一端以及放置筒(46)的外侧均套设有保温棉(415)。
3.根据权利要求1所述的一种正硅酸乙酯的汽化器，其特征在于：所述传动件(414)包括数量为四个的传动轮，所述传动轮的外侧套设有活动皮带，四个所述传动轮分别固定连接在两个活动杆(410)以及转杆(49)上，所述活动皮带套接在两两传动轮上。
4.根据权利要求1所述的一种正硅酸乙酯的汽化器，其特征在于：所述连接筒(411)的外径与放置筒(46...
【专利技术属性】
技术研发人员：张辉，王超，赵东京，孔云龙，
申请(专利权)人：随州鑫星新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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