【技术实现步骤摘要】
本技术涉及六氯乙硅烷分离提纯,具体为一种六氯乙硅烷分离提纯的提纯罐。
技术介绍
1、六氯乙硅烷是一种无机化合物,化学式为si2c l6,可以看成一种硅的氯化物,它是一种无色液体,在潮湿空气中发烟,它在用作化学试剂和合成硅单质的挥发性前体方面具有特殊应用,六氯乙硅烷是一种重要的电子特气,被广泛应用于半导体器件制造领域。
2、中国专利cn112479212b中公开了一种六氯乙硅烷提纯装置及方法,该专利公开了分离干净的技术方案,解决了现有的六氯乙硅烷中含有少量的五氯乙硅烷,由于两者沸点接近,因此很难利用常规精馏方法将五氯乙硅烷从六氯乙硅烷中彻底分离干净的问题。
3、该装置在使用时,通过原料罐内部设有加热管对六氯乙硅烷液体进行加热,但加热管位于原料罐的内部,加热管损坏时,不便于对加热管进行拆装更换,降低加热效果和处理效率,故而提出一种六氯乙硅烷分离提纯的提纯罐,用以解决上述问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足,本技术提供了一种六氯乙硅烷分离提纯的提纯罐,具备便捷拆装
...【技术保护点】
1.一种六氯乙硅烷分离提纯的提纯罐,包括提纯装置本体(1)以及设置在提纯装置本体(1)上的原料罐(2),其特征在于:所述原料罐(2)的底面固定连接有数量为两个的支撑板(5),所述原料罐(2)的底面开设有密封槽(16);
2.根据权利要求1所述的一种六氯乙硅烷分离提纯的提纯罐,其特征在于:所述橡胶垫(13)和滑槽(11)贴合,所述滑块(12)和滑槽(11)均为T字型,所述橡胶环(17)和密封槽(16)贴合。
3.根据权利要求1所述的一种六氯乙硅烷分离提纯的提纯罐,其特征在于:所述固定组件包括数量为两个的固定板(3),两个所述固定板(3)均放置在密
...【技术特征摘要】
1.一种六氯乙硅烷分离提纯的提纯罐,包括提纯装置本体(1)以及设置在提纯装置本体(1)上的原料罐(2),其特征在于:所述原料罐(2)的底面固定连接有数量为两个的支撑板(5),所述原料罐(2)的底面开设有密封槽(16);
2.根据权利要求1所述的一种六氯乙硅烷分离提纯的提纯罐,其特征在于:所述橡胶垫(13)和滑槽(11)贴合,所述滑块(12)和滑槽(11)均为t字型,所述橡胶环(17)和密封槽(16)贴合。
3.根据权利要求1所述的一种六氯乙硅烷分离提纯的提纯罐,其特征在于:所述固定组件包括数量为两个的固定板(3),两个所述固定板(3)均放置在密封板(15)的底面上,两个所述支撑板(5)相对的一侧面均开设有放置槽(18),两个所述固定板(3)分别延伸至两个放置槽(18)的内部,两个所述固定板(3)远离固定板(3)的一侧面均通过轴承活动连接有一端贯穿支撑板(5)并延伸至放置槽(18)内部的驱动杆(4),两个所述驱动杆(4)相对的一侧面均活动连...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐斌,张辉,卿添,孔云龙,
申请(专利权)人:随州鑫星新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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