【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及teos溶液加料装置，具体为一种teos溶液加料装置。
技术介绍
1、teos溶液具有较高的沉积速率和良好的均匀性，是半导体工艺中常用的前驱体，主要用于制备各种硅基材料，在半导体加工过程中，为放置干烧现象，需要通过teos溶液供液系统定期定时进行补液；
2、由于teos溶液具有较强的挥发性，且teos气体具有低毒性，排放至环境中会造成环境污染，teos溶液一般通过密封罐进行储存，上端安装阀门，且由于teos溶液的挥发，使得teos溶液输液管内处于正压状态，后续直接将输液加料系统与储液罐阀门连接即可实现teos溶液的输送，但现阶段操作过程中，若teos溶液储液罐更换过程中，当消耗完teos溶液的储液罐上端阀门未关闭就断开输液加料系统与阀门连接时，会导致teos溶液储液罐内留存的teos气体外溢造成环境污染，并且当储存teos溶液的新储液罐上端阀门与输液加料系统连接过程中，若未完成连接就误触导致阀门打开，此时在储液罐内部正压作用下，会导致新储液罐内的teos溶液向外喷溅，造成安全事故的发生。
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【技术保护点】
1.一种TEOS溶液加料装置，包括主箱体（1），所述主箱体（1）内安装有送液泵（2），所述送液泵（2）与送液管（3）相互连接，其特征在于：所述送液泵（2）通过导管与除泡器（4）相互连接，所述除泡器（4）通过流量计（5）和电磁阀（6）相互连接，所述电磁阀（6）通过导管与控制阀（11）相互连接，所述控制阀（11）通过氮气管（10）与氮气储存罐相互连接；
2.根据权利要求1所述的一种TEOS溶液加料装置，其特征在于：所述主箱体（1）前端面左侧安装有控制面板（101），且主箱体（1）内安装有定位架（102），并且定位架（102）与储液桶（8）接触，同时主箱体（1）...
【技术特征摘要】
1.一种teos溶液加料装置，包括主箱体（1），所述主箱体（1）内安装有送液泵（2），所述送液泵（2）与送液管（3）相互连接，其特征在于：所述送液泵（2）通过导管与除泡器（4）相互连接，所述除泡器（4）通过流量计（5）和电磁阀（6）相互连接，所述电磁阀（6）通过导管与控制阀（11）相互连接，所述控制阀（11）通过氮气管（10）与氮气储存罐相互连接；
2.根据权利要求1所述的一种teos溶液加料装置，其特征在于：所述主箱体（1）前端面左侧安装有控制面板（101），且主箱体（1）内安装有定位架（102），并且定位架（102）与储液桶（8）接触，同时主箱体（1）安装有可开关的箱门（103）。
3.根据权利要求1所述的一种teos溶液加料装置，其特征在于：所述自锁连接机构（7）包括固定在储液桶（8）上端面的阀座（701），且阀座（701）上轴承连接有阀杆（702），并且阀杆（702）上安装有阀板（703），同时阀杆（702）上还左右对称固定有凸轮（704），所述凸轮（704）设置在阀座（701）内。
4.根据权利要求3所述的一种teos溶液加料装置，其特征在于：所述阀座（701）内滑动连接有第一永磁板（705），且第一永磁板（705）与阀座（701）之间固定有弹簧（706），并且弹簧（706）关于阀座（701）的圆心为等角度分布，所述第一永磁板（705）上端面左右对称固定有限位杆（707），且限位杆（707）与凸轮（704）上圆孔配合可实现定位作用。
5.根据权利要求4所述的一种teos溶液加料装置，其特征在于：所述阀座（701）内滑动连接有塑料材质的活动板（708），且活动板（708）侧边等角度固定有凸块（709），并且凸块（709）与阀座（701）之间为滑动连接，同...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄娣，赵东京，张国光，张浩，张辉，丰雷，
申请(专利权)人：随州鑫星新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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