用于确定粒子－光学仪器中畸变的方法技术

本发明专利技术涉及一种确定ＴＥＭ的投影系统中的畸变的方法，以及一种用于校正这些像差的方法。所述像差是通过收集样品的大量的像进行确定的，所述样品在每一次像的获取之间被稍微移动。在这些像上将显示样品相同部分的子场（３０３，３０４－ｉ）进行比较。这些子场（３０３，３０４－ｉ）将显示一些对应于微分像差的小的差别。这样能够确定在大量的点中的所述微分像差，此后通过积分能够确定每一个点的像差。最后对像中每一个被探测像素的要被显示的位置进行校正，显示的像具有大大降低的像差。根据本发明专利技术的方法的优点在于不需要样品的高精度步长，也不需要知道样品的几何形状。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，所述仪器配备有用 于产生沿着粒子-光学轴方向的粒子束的粒子源；用于保持对象的对象保持器(Object holder)，所述对象保持器能够移动(translate)被放置于所述对象保持器中的对象；用于 形成所述对象的像的投影系统；以及用于获取和存储对象的像的探测器。所述方法包括提 供对象、获取第一个像、以及确定畸变的步骤。
技术介绍
这个方法被披露在Microsc. Microanal.(《显微观察与显微分析》)期刊的2005 年第 11 期(增干丨」2)第 552-553 页(D0I 10. 1017/S143192760551081X)，F. Hue 等人的 “Calibration of projector lens distortions forquantitative high-resolution TEM” ( “定量型高分辨率TEM中投影透镜畸变的标定”)一文中，并被用于校正由透射电子 显微镜(Transmission ElectronMicroscope, TEM)的投影系统所引入的畸变。在例如透射电子显微镜(TEM)的粒子_光学仪器中，用一束电子本文档来自技高网...

【技术保护点】
确定粒子－光学仪器中畸变的方法，所述仪器配备有：　　粒子源，其用于产生沿着粒子－光学轴方向的粒子束；　　用于保持对象的对象保持器，所述对象保持器能够移动被放置在所述对象保持器中的对象；　　投影系统，其用于形成所述对象的像；以及　　探测器，其用于获取和存储所述对象的像；　　所述方法包括：　　提供对象；　　获取第一个像（３００）；以及　　确定所述畸变；　　所述方法的特征在于：　　在所述第一个像中限定子像（３０３），第一个子像显示所述对象的小部分；　　获取一系列的像（３１０），在每一次获取之间移动所述对象；　　确定在所述像之间已实现的移动；　　在所述像的每一个中识别显示所述对象的小部分的子像（３０４...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：B里格，M范德斯塔姆，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]