一种单晶制造大班排气护套制造技术

一种单晶制造大班排气护套，涉及单晶制造辅助设备技术领域，中部件的上下两个分别安装有上部件和下部件，所述中部件为圆环形板材，所述中部件的上侧设有凹槽，且凹槽与中部件中间自带的通槽相连通，所述中部件的下侧设有安装槽，且安装槽位于中部件的边缘位置，所述中部件的下侧设有安装槽，且安装槽位于中部件的边缘位置，所述上部件由直筒和连接板组成，且上部件的直筒部位位于中部件的凹槽内并固定连接；本技术所述的一种单晶制造大班排气护套，通过下部件与排气装置进行连接，避免底部温差大造成氧化物堆积，使排气孔堵塞，通过中部件方便对上部件和下部件进行安装，通过上部件的黏胶基毡提高保温性，避免在排气时带走热量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶制造辅助设备，尤其是涉及一种单晶制造大班排气护套。

技术介绍

1、单晶硅在进行加工时，需要进行排气，现有的排气管道为直筒管道，在排气过程中会带走加工时产生的热量，需要另外耗费电力重新进行加热，降低了工作效率的同时还增加电力的损耗。

技术实现思路

1、为了克服
技术介绍
中的不足，本技术公开了一种单晶制造大班排气护套，本技术通过下部件与排气装置进行连接，避免底部温差大造成氧化物堆积，使排气孔堵塞，通过中部件方便对上部件和下部件进行安装，通过上部件的黏胶基毡提高保温性，避免在排气时带走热量。

2、为了实现所述技术目的，本技术采用如下技术方案：

3、一种单晶制造大班排气护套，包括中部件，所述中部件的上下两个分别安装有上部件和下部件。

4、所述中部件为圆环形板材。

5、所述中部件的上侧设有凹槽，且凹槽与中部件中间自带的通槽相连通。

6、所述中部件的下侧设有安装槽，且安装槽位于中部件的边缘位置。

7、所述上部件位于中部件的凹槽内并固定连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶制造大班排气护套，包括中部件（2），其特征是：所述中部件（2）的上下两个分别安装有上部件（1）和下部件（3）；

【技术特征摘要】

1.一种单晶制造大班排气护套，包括中部件（2），其特征是：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐镇，马晓杰，陆建军，
申请(专利权)人：新疆东方希望光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：