【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及信息管理领域，具体是一种关于半导体水系统的数字孪生管理方法及系统。
技术介绍
1、在半导体制造工艺中，水系统是至关重要的组成部分，半导体生产过程中需要大量的超纯水来清洗、冷却和加工半导体芯片，同时还需要对废水进行处理，以确保环境保护和资源回收；由于水在半导体生产中的重要性，水系统的管理对于确保生产质量、提高效率和降低成本至关重要；
2、如何对半导体水系统进行实时监测，在半导体水系统内设备参数发生异常时，进行准确地调节，确保半导体水系统稳定高效运行，是我们需要解决的问题，为此，现提供一种关于半导体水系统的数字孪生管理方法及系统。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本专利技术的目的在于提供一种关于半导体水系统的数字孪生管理方法及系统。
2、本专利技术的第一个目的在于开发一种关于半导体水系统的数字孪生管理方法。
3、本专利技术的第二个目的在于开发一种关于半导体水系统的数字孪生管理系统。
4、为实现上述第一专利技术目的，本专利技术...
【技术保护点】
1.一种关于半导体水系统的数字孪生管理方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种关于半导体水系统的数字孪生管理方法，其特征在于，构建半导体水系统物理模型的过程包括：
3.根据权利要求2所述的一种关于半导体水系统的数字孪生管理方法，其特征在于，获取半导体水系统中设备终端的运行数据以及水质数据的过程包括：
4.根据权利要求3所述的一种关于半导体水系统的数字孪生管理方法，其特征在于，根据所获得的半导体水系统数字模型判断生产半导体水的过程中是否发生异常的过程包括：
5.根据权利要求4所述的一种关于半导体水系统...
【技术特征摘要】
1.一种关于半导体水系统的数字孪生管理方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种关于半导体水系统的数字孪生管理方法，其特征在于，构建半导体水系统物理模型的过程包括：
3.根据权利要求2所述的一种关于半导体水系统的数字孪生管理方法，其特征在于，获取半导体水系统中设备终端的运行数据以及水质数据的过程包括：
4.根据权利要求3所述的一种关于半导体水系统的数字孪生管理方法，其特征在于，根据所获得的半导体水系统数字模型判断生产半导体水的过程中是否发生异常的过程包括：
5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢海，张家晖，罗志刚，张忠源，
申请(专利权)人：高频北京科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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