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本发明公开一种关于半导体水系统的数字孪生管理方法及系统，涉及信息管理领域，构建半导体水系统物理模型，所述半导体水系统物理模型由预处理网络、反渗透网络以及抛光网络构成；获取半导体水系统中设备终端的运行数据以及水质数据，并将所获取的运行数据以及...
该专利属于高频（北京）科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过高频（北京）科技股份有限公司授权不得商用。

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