【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体制造，具体涉及智能化半导体超纯水生产系统的能量回收装置。
技术介绍
1、在半导体制造领域，超纯水是生产过程中不可或缺的关键材料，其质量直接影响芯片制造的良品率与性能。反渗透技术是超纯水制备过程中的一个关键环节，该过程需要消耗大量能量，同时会产生具有一定压力和流量的浓水，而这些浓水携带的能量往往未被充分利用，造成能源浪费，增加了生产成本；
2、目前，多数半导体超纯水生产系统未设置有效的能量回收装置，浓水携带的动能和压力能直接排放，未转化为可利用的能源，难以降低系统整体能耗，且反渗透膜在长期使用过程中，表面易附着杂质、微生物等污染物，影响膜的过滤性能和产水量。
3、为此，设计智能化半导体超纯水生产系统的能量回收装置来解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术提供了智能化半导体超纯水生产系统的能量回收装置，可以有效解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：智能化半导体超纯水生产系统的能量回收装置，包括
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1.智能化半导体超纯水生产系统的能量回收装置，包括T型支架(1)；
2.根据权利要求1所述的智能化半导体超纯水生产系统的能量回收装置，其特征在于：所述密封壳一(22)的内部固定连接有套筒一(23)和套筒二(24)，所述上螺旋片(212)贴合套筒一(23)的内壁，所述下螺旋片(213)贴合在套筒二(24)的内壁。
3.根据权利要求2所述的智能化半导体超纯水生产系统的能量回收装置，其特征在于：所述密封壳一(22)表面开设的两个通孔内分别插设有管道二(25)和三通接头(215)，所述管道二(25)位于三通接头(215)的上方，所述套筒二(24)位于管...
【技术特征摘要】
1.智能化半导体超纯水生产系统的能量回收装置，包括t型支架(1)；
2.根据权利要求1所述的智能化半导体超纯水生产系统的能量回收装置，其特征在于：所述密封壳一(22)的内部固定连接有套筒一(23)和套筒二(24)，所述上螺旋片(212)贴合套筒一(23)的内壁，所述下螺旋片(213)贴合在套筒二(24)的内壁。
3.根据权利要求2所述的智能化半导体超纯水生产系统的能量回收装置，其特征在于：所述密封壳一(22)表面开设的两个通孔内分别插设有管道二(25)和三通接头(215)，所述管道二(25)位于三通接头(215)的上方，所述套筒二(24)位于管道二(25)和三通接头(215)之间，所述三通接头(215)的一端固定套设有管道四(216)，所述管道二(25)远离密封壳一(22)的一端插设在管道四(216)表面开设的连孔内。
4.根据权利要求1所述的智能化半导体超纯水生产系统的能量回收装置，其特征在于：所述密封壳一(22)顶部开设的圆孔一内插设有管道一(21)，所述密封壳一(22)表面开设的圆孔二内插设有管道三(214)。
5.根据权利要求1所述的智能化半导体超纯水生产系统的能量回收装置，其特征在于：所述t型支架(1)表面通过平板安装有发电机(217)和蓄电池(218)，所述下转轴(29)的底端贯穿密封壳一(22)的底部，所述发电机(217)的转轴端部和下转轴(29)的底端固定连接，所述下转轴(29)和密封壳一(22)密封转动连接。
6.根据权利要求4所述的智能化半导体超纯水生产系统的能量回收装置，其特征在于：所述t型支架(1)的表面设置有制水组件(3)，所述制水组件(3)包括固定连接在t型支架(1)表面的密封壳二(37)，所述密封壳二(37)顶部开设的通孔一内固定插设有内置管(35)，所述内置管(35)的表面套设有反渗透膜(36)，所述内置管(35)表面开设有滤槽，所述管道三(214)远离密封壳一(22)的一端插设在密封壳二(37)顶部开设的通孔二内。
7.根据权利要求3所述的智能化半导体超纯水生产系统的能量回收装置，其特征在于：所述回收组件(2)的表面安装有加压泵(32)，所述管道四(216)远离三通接头(215)的一端和加压泵(32)的进液端连接，所述加压泵(32)的出液端安装有压力调节阀(33)，所述压力调节阀(33)远离加压泵(32)...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙佳君，尹利鹏，刘鑫，
申请(专利权)人：高频北京科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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