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本发明属于半导体制造技术领域，尤其为智能化半导体超纯水生产系统的能量回收装置，包括T型支架，所述T型支架的表面设置有回收组件，所述回收组件包括固定连接在T型支架表面的密封壳一，所述密封壳一的内部固定连接有圆盘一和圆盘二；通过监测反渗透膜表面...
该专利属于高频（北京）科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过高频（北京）科技股份有限公司授权不得商用。

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