非水冷超高温压电式压力传感器制造技术

一种非水冷超高温压电式压力传感器，包括前端的本体、中部的连接套和尾端的ＴＮＣ接头，其特征是：采用磷酸镓单晶作为其敏感元件（６），所述芯电极（９）中心有孔，芯电极线（１３）穿过小孔并和芯电极（９）焊接，所述敏感元件（６）四周用陶瓷或云母绝缘。所述膜片（７）、本体（５）和芯电极（９）制作材料采用耐热钢，所述耐热钢为ＮＩ－ＰＨ１８０１、或ＮＩ－Ｐ９６ＨＴ、或Ｎｉｍｏｎｉｃ９０。本实用新型专利技术压力传感器频率响应范围宽。且寿命长、能够耐高温，在６００℃以下保证传感器的非线性度小于１％、灵敏度变化小于±３％。满足大型内燃机在线式缸内示功图测量的要求，提高大型内燃机的管理水平，降低能耗和排放，保护了环境。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及传感器，具体说是一种非水冷超高温压电式压力 传感器。
技术介绍
大型内燃机的研究、设计、开发、管理、维修需要测量内燃机燃 烧室内的气体压力变化过程，以判断内燃机工作是否正常，防止不正 常的工作过程导致的能耗和污染的增加。内燃机燃烧室内的气体压力测量对压力传感器的要求主要集中在 以下三个方面首先是传感器的工作温度。内燃机燃烧室内燃气的最高燃烧温度可高达180(TC，在压力传感器膜片处的气体最高温度也可达到l()O(TC' (爆压15Mpa时)，在非水冷条件下，待压力传感器工作温度稳定后， 敏感元件的工作温度一般在25(TC到35(TC之间，所以，用于测量内燃 机燃烧室压力的传感器的额定工作温度必须高于350°C 。其次是压力传感器频率响应范围。内燃机燃烧室压力的变化的基 频最低为lHz，燃烧过程中得高频分量(如爆震)可以达到30kHz 以上，所以，用于测量柴油机示功图的压力传感器的频响范围必需大 于30kHz。最后是压力传感器必须要有足够长的寿命。按照普通压力传感器1 X 106次循环的设计寿命，在转速为500转/分的四冲程中速船用柴油机 上，只能连续工作不到三天；所以，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种非水冷超高温压电式压力传感器，包括前端的本体、中部的连接套和尾端的ＴＮＣ接头，本体的前端有膜片将敏感元件封装在本体内，敏感元件通过与之贴合的芯电极及焊接在芯电极上的芯电极线穿过连接套连接ＴＮＣ接头将信号线引出，其特征是：采用磷酸镓单晶作为其敏感元件（６）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：夏志澜，
申请(专利权)人：夏志澜，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]