一种红外高效增透膜及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种红外高效增透膜及其制备方法，涉及真空镀膜技术领域，所述增透膜膜系结构具体为：基底/286～326nm硫化锌/160～200nm锗/375～415nm硫化锌/1180～1220nm氟化镱/82～122nm硫化锌/空气，具体包括以下步骤：S01：表面处理；S02：清洗；S03：加热；S04：镀膜；S05：退火。本发明专利技术制备方法提高了增透膜红外长波段的平均透过率，采用本发明专利技术制备方法制备的增透膜在红外8至12um波段平均透过率达到98.8％，实现了红外镜片高效增透的镀膜需求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空镀膜，具体涉及一种红外高效增透膜及其制备方法。

技术介绍

1、增透膜又称减反射膜，在光学元件中，由于元件表面的反射作用而使光能损失，为了减少元件表面的反射损耗，常在光学元件表面沉积透明介质薄膜，使得元件达到减反增透的效果。红外增透膜在民用和军事方面都有着重要的作用，在民用方面，主要应用在红外探测器的光学镜头；在军事上，主要用于红外制导技术。

2、红外增透膜由于使用材料的限制及工艺上的原因导致增透膜的透过率一直偏低，红外中波3至5微米和红外长波8至12微米波段常规增透膜一般只有96％上下，相同的膜系设计在不同的镀膜工艺下透过率有较大的偏差，透过率偏低1％对光学成像效果的影响都是巨大的。现代高端光学设备对透过率提出更高的要求通常为98％左右，而由于受到诸多因素的制约如：反射、散射、吸收等，常规镀膜方法镀制的增透膜平均透过率很难达到98％以上。

3、现有专利如中国专利公开号为：cn206741013u，该专利的名称为“一种以锗为基底的中长波红外增透膜”，该增透膜由正面膜系、基片和背面膜系组成，在基底的一面镀制正面膜系，在本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种红外高效增透膜，其特征在于：所述增透膜膜系结构具体为：基底/286～326nm硫化锌/160～200nm锗/375～415nm硫化锌/1180～1220nm氟化镱/82～122nm硫化锌/空气。

2.根据权利要求1所述的一种红外高效增透膜，其特征在于，所述增透膜膜系结构具体为：基底/306nm硫化锌/180nm锗/395nm硫化锌/1200nm氟化镱/102nm硫化锌/空气。

3.根据权利要求1所述的一种红外高效增透膜，其特征在于，所述基底为锗基底。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的一种红外高效增透膜的制备方法，其特征在于：具体包括以下步...

【技术特征摘要】

1.一种红外高效增透膜，其特征在于：所述增透膜膜系结构具体为：基底/286～326nm硫化锌/160～200nm锗/375～415nm硫化锌/1180～1220nm氟化镱/82～122nm硫化锌/空气。

2.根据权利要求1所述的一种红外高效增透膜，其特征在于，所述增透膜膜系结构具体为：基底/306nm硫化锌/180nm锗/395nm硫化锌/1200nm氟化镱/102nm硫化锌/空气。

3.根据权利要求1所述的一种红外高效增透膜，其特征在于，所述基底为锗基底。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的一种红外高效增透膜的制备方法，其特征在于：具体包括以下步骤：

5.根据权利要求4所述的一种红外高效增透膜的制备方法，其特征在于，所述s01中抛光液中三氧化二铝与无水酒精的...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭乔，
申请(专利权)人：安徽昱升光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：