一种提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法技术

本发明专利技术公开了一种提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法，包括制备样品，样品厚度为30～80微米；将样品冲孔成直径3～4毫米的圆片或裁剪成宽度为3～3.2毫米、长度为4毫米的长方形薄片；采用电解双喷或离子减薄的方法，在样品中间部分产生一个穿透小孔，从而使小孔周围形成一个厚度在500纳米以下的薄区，并将样品置于样品载具上，放于扫描电镜中对样品进行观察；该样品载具的中部设有沉槽，沉槽两边通过导电胶固定样品，样品的穿透小孔位于槽口的上方。本发明专利技术能够对合金样品进行亚微米级别的精确分析，解决了扫描电镜中存在物相成分容易受到周围基体影响和面分布分析精度较低的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及扫描电镜能谱技术，特别是涉及一种提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法。

技术介绍

1、常规扫描电镜的能谱，最佳工作电压为20v，由于扫描电镜的采集信号为水滴形区域，因此采集的范围约为1μm范围。由于测试分析工作中，经常会需要采集小于1μm的区域，如很多碳化物、析出相其尺度明显小于1μm。此时若还是采用常规的采集信号的方法，其信号范围会受到观察区周围基体材料的显著影响，若将工作电压减小，虽然能在一定程度上减小信号采集范围，但会带来能激发的电子轨道能级减小，采集的信号数量减小，信号所能采集的光子数量和能级也减小，进而带来点分析、线分析和面分析可能不准确的问题。

技术实现思路

1、专利技术目的：本专利技术的目的是提供一种提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法，能够对合金样品进行亚微米级别的精确分析，解决了扫描电镜中存在物相成分容易受到周围基体影响和点分析、线分析和面分析精度较低的问题。

2、技术方案：为实现上述目的，本专利技术所述的一种提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法，包括以下步骤：

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【技术保护点】

1.一种提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法，其特征在于，步骤1所述制备样品是利用金相制备方法制备金属薄膜样品。

3.根据权利要求2所述的提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法，其特征在于，所述制备过程为：先对试样进行热处理，再用线切割或低速锯，切割试出试样中需要进行观察的部分，利用石蜡或固体胶将切割好的试样固定到样品台；从400号砂纸开始，逐步过渡到使用1000号研磨细度的砂纸对试样表面进行研磨，最终获得厚度在30～80微米之间的样品。

4.根据权利要求3所述的提高扫描电镜能...

【技术特征摘要】

1.一种提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法，其特征在于，步骤1所述制备样品是利用金相制备方法制备金属薄膜样品。

3.根据权利要求2所述的提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法，其特征在于，所述制备过程为：先对试样进行热处理，再用线切割或低速锯，切割试出试样中需要进行观察的部分，利用石蜡或固体胶将切割好的试样固定到样品台；从400号砂纸开始，逐步过渡到使用1000号研磨细度的砂纸对试样表面进行研磨，最终获得厚度在30～80微米之间的样品。

4.根据权利要求3所述的提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法，其特征在于，所述试样切割厚度在0.3～1毫米之间。

5.根据权利要求1所述的提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法，其特征在于，步骤3采用所述电解双喷减薄方法时，待样品穿孔后抛光停止。

6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：周鹏杰，孙亚文，
申请(专利权)人：江苏科技大学，
类型：发明
国别省市：