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本发明公开了一种提高扫描电镜能谱空间分辨率的方法，包括制备样品，样品厚度为30～80微米；将样品冲孔成直径3～4毫米的圆片或裁剪成宽度为3～3.2毫米、长度为4毫米的长方形薄片；采用电解双喷或离子减薄的方法，在样品中间部分产生一个穿透小孔，...
该专利属于江苏科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏科技大学授权不得商用。

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