微流控芯片激光智能检测仪制造技术

本实用新型专利技术微流控芯片激光智能检测仪，用于检测微流芯片尺度和形状。特征：ｙ方向高精密导轨和ｘ方向高精密导轨交叉构成的高精度十字定位系统由高精度伺服电机、ｘ方向伺服电机连接控制驱动，ｙ方向高精密导轨、ｘ方向高精密导轨上分别装有高精度丝杠和ｙ方向光栅尺、ｘ方向光栅尺，激光ＣＣＤ位移传感器安装在拱形支架上，通过抗干扰防护电缆与激光ＣＣＤ位移传感器的控制器相连，激光ＣＣＤ位移传感器的控制器通过ＵＳＢ接口与计算机通信，伺服电机控制器通过计算机的并口连接控制ｙ方向伺服电机、ｘ方向伺服电机。用计算机实现多路控制，智能软件实现同步控制检测仪器、数据采集、数据处理、显示测量结果和绘制出三维图形。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于检测微流控芯片尺度的高精度检测仪器，属检测仪器结构
二
技术介绍
微流控芯片又称芯片实验室，和电子芯片相比在工作原理、制造工艺和应用范围上都有实质性区别的一类芯片技术。它把生物和化学等领域中所涉及的样品制备、生物与化学反应、分离、检测等基本操作单元集成到一块几平方厘米的芯片上，用以完成不同的生物或化学反应过程，是对微量成分进行分析的一种技术，因此被认为是影响人类未来的15件最重要的专利技术之一，微流控芯片已成为微全分析系统和芯片实验室的发展重点和前沿技术。芯片微通道质量对样品进样、分离、芯片散热等有重要的影响，因此对微通道的尺度参数(如截面形状、尺寸精度、表面粗糙度等)测量成为重要课题。目前常用测量微流控芯片通道的设备多为触针式轮廓仪，轮廓仪测针的针尖角度和针尖圆弧半径会对测量精度产生影响，对不规则的微小通道尺寸测量有时会存在误差。采用触针式轮廓仪测量微流控芯片微通道，测针通常可以完全抵达微通道底部，故深度尺寸测量较准确，但在宽度方向上，依微通道深度及侧壁夹角不同，可能产生测针与微通道侧壁干涉。由轮廓仪测得的轮廓并不能更好地反映出真实的微通道截面形状和尺寸本文档来自技高网...

【技术保护点】
微流控芯片激光智能检测仪，其特征在于，包括激光ＣＣＤ位移传感器（１４），激光ＣＣＤ位移传感器的控制器（２），纵向精密导轨（８）、横向精密导轨（３）、计算机（１）、横向伺服电机（５）、纵向伺服电机（１１）、伺服电机控制器（１２）；横向精密导轨（３）和纵向精密导轨（８）交叉构成的精密十字定位系统由横向伺服电机（５）和纵向伺服电机（１１）驱动，横向精密导轨（３）和纵向精密导轨（８）上分别装有精密丝杠和纵向光栅尺（４）及横向光栅尺（７），激光ＣＣＤ位移传感器（１４）安装在拱形支架（１３）上，通过抗干扰防护电缆与激光ＣＣＤ位移传感器的控制器（２）相连，激光ＣＣＤ位移传感器的控制器（２）通过ＵＳＢ接口与计...

【技术特征摘要】
微流控芯片激光智能检测仪，其特征在于，包括激光CCD位移传感器(14)，激光CCD位移传感器的控制器(2)，纵向精密导轨(8)、横向精密导轨(3)、计算机(1)、横向伺服电机(5)、纵向伺服电机(11)、伺服电机控制器(12)；横向精密导轨(3)和纵向精密导轨(8)交叉构成的精密十字定位系统由横向伺服电机(5)和纵向伺服电机(11)驱动，横向精密导轨...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘岩，厉玉蓉，赵峰，安志勇，
申请(专利权)人：山东工商学院，
类型：实用新型
国别省市：37[中国|山东]