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微流控芯片激光智能检测仪制造技术
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文档序号:4266870
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本实用新型微流控芯片激光智能检测仪,用于检测微流芯片尺度和形状。特征:y方向高精密导轨和x方向高精密导轨交叉构成的高精度十字定位系统由高精度伺服电机、x方向伺服电机连接控制驱动,y方向高精密导轨、x方向高精密导轨上分别装有高精度丝杠和y方向...
该专利属于山东工商学院所有,仅供学习研究参考,未经过山东工商学院授权不得商用。
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