一种基于电磁感应原理的真空规及其应用制造技术

本发明专利技术涉及一种基于电磁感应原理的真空规及其应用，属于真空测量设备技术领域，解决了现有技术中电容真空规各零部件间累积加工误差大、桥式电路配平复杂、电子器件温度漂移、模拟电路失真等问题中的至少一个。本发明专利技术提供了一种基于电磁感应原理的真空规，所述真空规包括设置于应变膜片上方的垂直支撑结构，垂直支撑结构两侧设置有平行的磁极相对的片状磁铁；垂直支撑结构正面和/或反面设有绝缘层，绝缘层上设置有平行金属线。上述真空规保留了应变膜片结构，利用简单的电磁感应原理实现应变膜片形变的测量，无需采用复杂的模拟电路；且测量精度高，受环境影响小，输出信号易于解析处理，可适用于环境条件更为苛刻的应用场景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空测量设备，尤其涉及一种基于电磁感应原理的真空规及其应用。

技术介绍

1、现阶段，真空测量产品中最常见的类型包括电阻真空规；电容真空规；电离真空规；mems真空规。在这几种不同类型的真空测量技术及产品内，因为电容真空规基本采用弹性应变薄膜作为压力响应部件，应变膜片可以将测量器件及电路与被测量介质完全隔离，起到保护作用。所以电容真空规被广泛应用于多个领域。

2、电容式压力传感器常用结构是利用合金压力应变膜片作为电容，其中一个电极与陶瓷基底上的导电镀层形成电容。当合金应变膜片两侧压力发生变化，产生压力差，导致合金应变膜片发生形变，从而改变合金应变膜片与陶瓷基底上导电层的距离，改变电容值。通过对电容值的测量来实现被测空间内压力的测量。

3、这样的压力测量原理并不复杂，但是电容测量的影响因素非常繁复。因为电容的变化是由应变膜片负载形变而产生，但是膜片中心位置的最大形变量在微米量级，而控制电极间隔的零件加工误差也在微米量级。还有陶瓷基底上制备的导电镀层的面积误差、厚度误差；测量电容差值的桥式电路配平；电子器件温度漂移；模拟电路本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于电磁感应原理的真空规，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的真空规，其特征在于：所述平行金属线(10)的宽度和长度相等，且相邻的平行金属线(10)的间距相等。

3.根据权利要求1所述的真空规，其特征在于：所述垂直支撑结构(7)正反面均设有绝缘层(9)，且在绝缘层(9)正反面的相同位置制备平行金属线(10)。

4.根据权利要求1所述的真空规，其特征在于：所述外壳(5)的顶部设置有电信号引出孔；所述外壳(5)的底部还设置有检测口(4)。

5.根据权利要求4所述的真空规，其特征在于：所述绝缘层(9)正反面的相同位置制备平行金属线(10...

【技术特征摘要】

1.一种基于电磁感应原理的真空规，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的真空规，其特征在于：所述平行金属线(10)的宽度和长度相等，且相邻的平行金属线(10)的间距相等。

3.根据权利要求1所述的真空规，其特征在于：所述垂直支撑结构(7)正反面均设有绝缘层(9)，且在绝缘层(9)正反面的相同位置制备平行金属线(10)。

4.根据权利要求1所述的真空规，其特征在于：所述外壳(5)的顶部设置有电信号引出孔；所述外壳(5)的底部还设置有检测口(4)。

5.根据权利要求4所述的真空规，其特征在于：所述绝缘层(9)正反面的相同位置制备平行金属线(10)共同连接到一个导电线中，形成并联结构，所述平行金属线(10)两端...

【专利技术属性】
技术研发人员：林琳，张心强，苏涛，郜晨希，徐亚辉，孙小孟，刘瑞琪，郑旭，张沙，李超波，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：