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本发明涉及一种基于电磁感应原理的真空规及其应用，属于真空测量设备技术领域，解决了现有技术中电容真空规各零部件间累积加工误差大、桥式电路配平复杂、电子器件温度漂移、模拟电路失真等问题中的至少一个。本发明提供了一种基于电磁感应原理的真空规，所述...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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