【技术实现步骤摘要】
本申请涉及热导率测量，尤其涉及一种热导气体传感器、制备方法及气体热导率检测方法。
技术介绍
1、对气体导热系数的测量通常采用热丝法，基本方法是将一根细长的导线（通常是电阻丝）放置在待测气体中，通过电流加热导线，使导线温度升高，并在导线周围的待测气体中产生温度场；之后，通过测量导线温度（通常为电阻）随时间的变化，能够根据热传导方程计算待测气体的热导率；然而，现有技术中采用热丝法原理进行测量的器件极易受到环境温度的干扰，即使采用了温度补偿，补偿效果也十分有限，无法进一步提升传感器的检测下限和精度。
技术实现思路
1、针对上述现有技术中存在的问题，本申请提供了一种热导气体传感器、制备方法及气体热导率检测方法，所述技术方案如下：
2、一方面，本申请提供了一种热导气体传感器，包括开设有悬空槽的衬底和至少部分悬空设置于所述悬空槽上的温场层，所述温场层包括间隔设置的恒温热源和至少两个测温单元；所述悬空槽用于容纳待测气体，所述至少两个测温单元中的至少部分测温单元与所述恒温热源间的间距非等距设置
3、本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种热导气体传感器，其特征在于，包括开设有悬空槽的衬底和至少部分悬空设置于所述悬空槽上的温场层，所述温场层包括间隔设置的恒温热源和至少两个测温单元；所述悬空槽用于容纳待测气体，所述至少两个测温单元中的至少部分测温单元与所述恒温热源间的间距非等距设置。
2.根据权利要求1所述的热导气体传感器，其特征在于，所述恒温热源和所述至少两个测温单元位于同一平面内。
3. 根据权利要求1所述的热导气体传感器，其特征在于，所述测温单元包括多个测温点，在同一所述测温单元中，所述多个测温点中至少部分测温点分别位于同一平面中的多条等温线上；在不同所述测温单元中，...
【技术特征摘要】
1.一种热导气体传感器，其特征在于，包括开设有悬空槽的衬底和至少部分悬空设置于所述悬空槽上的温场层，所述温场层包括间隔设置的恒温热源和至少两个测温单元；所述悬空槽用于容纳待测气体，所述至少两个测温单元中的至少部分测温单元与所述恒温热源间的间距非等距设置。
2.根据权利要求1所述的热导气体传感器，其特征在于，所述恒温热源和所述至少两个测温单元位于同一平面内。
3. 根据权利要求1所述的热导气体传感器，其特征在于，所述测温单元包括多个测温点，在同一所述测温单元中，所述多个测温点中至少部分测温点分别位于同一平面中的多条等温线上；在不同所述测温单元中，至少两个所述测温单元彼此的至少部分测温点位于同一等温线上。
4.根据权利要求1所述的热导气体传感器，其特征在于，所述至少两个测温单元位于所述恒温热源的同一侧；或者
5.根据权利要求1-4中任一项所述的热导气体传感器，其特征在于，所述温场层满足下述特征中的至少之一：
6.根据权利要求1-4中任一项所述的热导气体传感器，其特征在于，所述恒温热源和所述至少两个测温单元为条形结构，所述至少两个测温单元和所述恒温热源位于同一平面内且平行设置。
7.根据权利要求1-4中任一项所述的热导气体传感器，其特征在于，所述温场层包括复合介质层和图案化的金属层...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈方平，徐晓苗，徐宗亮，姜熙君，王震怀，
申请(专利权)人：苏州芯镁信电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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