一种基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器，属于柔性可穿戴电子领域。该传感器主要包括柔性基底层和受压弹性体，柔性基底层上设置有一个环境温度检测电阻丝和一个压力检测电阻丝，受压弹性体中存在大量的孔隙,与柔性基底层上表面紧密连接。本发明专利技术采用MEMS工艺制作，具有多功能性，能同时检测温度与压力，可实现曲面的柔性测量，体积小，成本低，能实时监测温压变化，稳定性好，灵敏度高，易于智能化与集成化，可以应用在医疗设备、智能穿戴、机器人技术等领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及柔性可穿戴电子，尤其是涉及一种基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器。

技术介绍

1、温压一体柔性传感器能同时检测温度和压力，因其柔韧性、高精度和低功耗等特性，在医疗设备、智能穿戴、机器人技术等领域应用广泛。国内在研发上取得进展，但产业化程度较低。目前，柔性温压一体传感器的灵敏度、精准性、稳定性和鲁棒性仍然是一个挑战，在长时间使用和重复应变下，柔性温压一体传感器可能存在性能下降或损坏的问题，需要提高其耐久性和稳定性。如何将传感器的敏感元件、电路和封装材料有效地结合和保护，以实现柔性和可靠性的需求仍然是一个技术难点，例如，中国专利申请：一体化柔性温度和压力传感器及其制备方法和用于非平面温度测量的系统（专利申请号cn202010967072.9）和文献同时独立感知压力和温度的柔性双模传感器中的柔性温压一体传感器虽然能够提高温度测量的准确性，但是测量灵敏度和传感器的抗压稳定性及鲁棒性较差。在现有的解决方案，虽然可以通过改进结构和替换材料来提高灵敏度和稳定性，但是加大了传感器的生产难度和成本，因此解决上述问题成为本领域技术人员亟需解决的技术难题本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器，其特征在于，包括柔性基底层和受压弹性体，所述柔性基底层上设置一个压力检测电阻丝和一个环境温度检测电阻丝，其中，

2.根据权利要求1所述的基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器，其特征在于，所述压力检测电阻丝和环境温度检测电阻丝均由铂（Pt）制成，所述受压弹性体由硅胶制成。

3.根据权利要求1所述的基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器，其特征在于，所述柔性基底层的长和宽尺寸为L，且9≤L≤12mm，厚度为D，且0.1≤D≤0.15mm；柔性基底层上的压力检测电阻丝和环境温度检测电阻丝的厚度在0.05...

【技术特征摘要】

1.一种基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器，其特征在于，包括柔性基底层和受压弹性体，所述柔性基底层上设置一个压力检测电阻丝和一个环境温度检测电阻丝，其中，

2.根据权利要求1所述的基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器，其特征在于，所述压力检测电阻丝和环境温度检测电阻丝均由铂（pt）制成，所述受压弹性体由硅胶制成。

3.根据权利要求1所述的基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器，其特征在于，所述柔性基底层的长和宽尺寸为l，且9≤l≤12mm，厚度为d，且0.1≤d≤0.15mm；柔性基底层上的压力检测电阻丝和环境温度检测电阻丝的厚度在0.05-0.1mm的范围内，受压弹性体长和宽尺寸为b，且9≤b≤12mm，厚度在0.5-1m...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴林华，张永豪，刘珺宇，马炫霖，
申请(专利权)人：北京信息科技大学，
类型：发明
国别省市：