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本申请公开了一种热导气体传感器、制备方法及气体热导率检测方法,包括开设有悬空槽的衬底和至少部分悬空设置于所述悬空槽上的温场层,所述温场层包括间隔设置的恒温热源和至少两个测温单元;所述悬空槽用于容纳待测气体,所述至少两个测温单元中的至少部分测...该专利属于苏州芯镁信电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州芯镁信电子科技有限公司授权不得商用。
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本申请公开了一种热导气体传感器、制备方法及气体热导率检测方法,包括开设有悬空槽的衬底和至少部分悬空设置于所述悬空槽上的温场层,所述温场层包括间隔设置的恒温热源和至少两个测温单元;所述悬空槽用于容纳待测气体,所述至少两个测温单元中的至少部分测...