【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅晶体生产，具体为一种碳化硅晶体生产用取料装置。
技术介绍
1、在使用pvt法生产碳化硅晶体时，将碳化硅籽晶放置在坩埚顶部，将碳化硅粉料作为原料放置在坩埚底部，在高温低压的密闭环境下，碳化硅粉料升华，并在温度梯度和浓度差的作用下向上传输至籽晶附近，达到过饱和状态后再结晶，进行形成碳化硅晶体的生长，在将碳化硅晶体生产结束后，需要将坩埚内部的晶体取出。
2、且由于籽晶在垂直在坩埚的顶部，进而生长的晶体固定在坩埚的顶部，在垂直将炉体打开时，晶体会直接从坩埚内部取出，在进行卸料时会使用人工取料或机械臂取料，将晶体从炉盖底部取下，但由于坩埚内部温度较高，且晶体在较高温度下生长而成，进而在取料时，晶体外部还存留余温，使得取料时需要等袋晶体冷却，从而导致取料的工作效率较低，同时机械臂的结构复杂，成本较高因此需要提出一种碳化硅晶体生产用取料装置。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种碳化硅晶体生产用取料装置，以解决上述
技术介绍
中提出的机械臂结构复杂成本高，且晶体散热影响取料效率的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种碳化硅晶体生产用取料装置，包括夹持板，所述夹持板的一侧固定连接有耳板，且耳板的内侧固定连接有转柱，所述转柱的外部固定安装有半齿，且半齿的一侧啮合有齿条，所述齿条的内部移动连接有定位柱；
3、且定位柱的底部固定连接有固定板，所述固定板的顶部固定安装有电动推杆，且固定板的一侧固定安装有液压杆，所述固定板的底部固定连接
4、优选的，所述夹持板的内部固定安装有换热管，且换热管的一侧贴合设置有换热板，所述换热板固定安装在夹持板的内侧壁，且夹持板和换热板均为弧形结构。
5、优选的，所述换热管的一端固定连接有循环水泵，且循环水泵的一侧固定安装有水箱，所述水箱的一侧内部等距离安装有散热板，且散热板的外侧设置有散热扇。
6、优选的，所述水箱的底部转动安装有旋转底座，所述换热管的两端分别与循环水泵的出水端和水箱的顶部固定连接，且换热管的一侧弯曲盘放在夹持板的内部，所述散热扇固定安装在水箱的一侧。
7、优选的，所述转柱转动安装在固定板的一侧，且夹持板通过转柱转动安装在固定板的一侧，所述齿条移动设置在半齿之间，且齿条移动设置在定位柱的外部。
8、优选的，所述滑条对称设置在固定板的底部，且架板对应滑条的位置开设有滑槽，所述滑条和滑槽均为倒t形结构，且固定板通过滑条移动设置在架板的顶部。
9、优选的，所述液压杆的伸缩杆一端与固定板的一侧固定连接，所述架板的底部固定安装有三角架，且三角架一侧固定安装在水箱的一侧，所述电动推杆的伸缩杆一端与齿条的一侧固定连接。
10、与现有技术相比，本技术的有益效果是：该碳化硅晶体生产用取料装置；
11、1.通过循环水泵将水箱内部的水向换热管内部抽取，进而将水在换热管内部循环流动，夹持板将晶体进行夹持移出后，换热板将晶体上的热量吸收，换热管经过夹持板内部时，将换热板的热量进行交换，进而将热量吸收循环进入水箱内部散热，使得快速将晶体上的余温去除，方便将取出的碳化硅晶体进行放置，从而提高碳化硅晶体生产用取料装置的工作效率；
12、2.通过电动推杆推拉齿条，即可将齿条带动半齿旋转将夹持板进行夹取松放晶体，且通过液压杆的推拉可完成夹持板的及晶体的位置，并搭配旋转底座的转动，将晶体进行旋转放置，进而方便完成碳化硅晶体的取料操作，且装置整体结构简单，方便操作使用，相较现有机械臂能降低成本，进而碳化硅晶体生产用取料装置可进行推广使用，具有一定的实用性。
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1.一种碳化硅晶体生产用取料装置，包括夹持板(7)，其特征在于：所述夹持板(7)的一侧固定连接有耳板(9)，且耳板(9)的内侧固定连接有转柱(10)，所述转柱(10)的外部固定安装有半齿(11)，且半齿(11)的一侧啮合有齿条(12)，所述齿条(12)的内部移动连接有定位柱(13)；
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生产用取料装置，其特征在于，所述夹持板(7)的内部固定安装有换热管(6)，且换热管(6)的一侧贴合设置有换热板(8)，所述换热板(8)固定安装在夹持板(7)的内侧壁，且夹持板(7)和换热板(8)均为弧形结构。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶体生产用取料装置，其特征在于，所述换热管(6)的一端固定连接有循环水泵(5)，且循环水泵(5)的一侧固定安装有水箱(2)，所述水箱(2)的一侧内部等距离安装有散热板(3)，且散热板(3)的外侧设置有散热扇(4)。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶体生产用取料装置，其特征在于，所述水箱(2)的底部转动安装有旋转底座(1)，所述换热管(6)的两端分别与循环水泵(5)的出水端和水箱(2)
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生产用取料装置，其特征在于，所述转柱(10)转动安装在固定板(14)的一侧，且夹持板(7)通过转柱(10)转动安装在固定板(14)的一侧，所述齿条(12)移动设置在半齿(11)之间，且齿条(12)移动设置在定位柱(13)的外部。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生产用取料装置，其特征在于，所述滑条(17)对称设置在固定板(14)的底部，且架板(18)对应滑条(17)的位置开设有滑槽，所述滑条(17)和滑槽均为倒T形结构，且固定板(14)通过滑条(17)移动设置在架板(18)的顶部。
7.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生产用取料装置，其特征在于，所述液压杆(16)的伸缩杆一端与固定板(14)的一侧固定连接，所述架板(18)的底部固定安装有三角架，且三角架一侧固定安装在水箱(2)的一侧，所述电动推杆(15)的伸缩杆一端与齿条(12)的一侧固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶体生产用取料装置，包括夹持板(7)，其特征在于：所述夹持板(7)的一侧固定连接有耳板(9)，且耳板(9)的内侧固定连接有转柱(10)，所述转柱(10)的外部固定安装有半齿(11)，且半齿(11)的一侧啮合有齿条(12)，所述齿条(12)的内部移动连接有定位柱(13)；
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生产用取料装置，其特征在于，所述夹持板(7)的内部固定安装有换热管(6)，且换热管(6)的一侧贴合设置有换热板(8)，所述换热板(8)固定安装在夹持板(7)的内侧壁，且夹持板(7)和换热板(8)均为弧形结构。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶体生产用取料装置，其特征在于，所述换热管(6)的一端固定连接有循环水泵(5)，且循环水泵(5)的一侧固定安装有水箱(2)，所述水箱(2)的一侧内部等距离安装有散热板(3)，且散热板(3)的外侧设置有散热扇(4)。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶体生产用取料装置，其特征在于，所述水箱(2)的底部转动安装有旋转底座(1)，所述换热管(6)的两端分别与循环水泵(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚恒，姚泰，
申请(专利权)人：芜湖予秦半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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