【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅晶体生产，具体为一种碳化硅晶体生产用取料装置。
技术介绍
1、在使用pvt法生产碳化硅晶体时，将碳化硅籽晶放置在坩埚顶部，将碳化硅粉料作为原料放置在坩埚底部，在高温低压的密闭环境下，碳化硅粉料升华，并在温度梯度和浓度差的作用下向上传输至籽晶附近，达到过饱和状态后再结晶，进行形成碳化硅晶体的生长，在将碳化硅晶体生产结束后，需要将坩埚内部的晶体取出。
2、且由于籽晶在垂直在坩埚的顶部，进而生长的晶体固定在坩埚的顶部，在垂直将炉体打开时，晶体会直接从坩埚内部取出，在进行卸料时会使用人工取料或机械臂取料，将晶体从炉盖底部取下，但由于坩埚内部温度较高，且晶体在较高温度下生长而成，进而在取料时，晶体外部还存留余温，使得取料时需要等袋晶体冷却，从而导致取料的工作效率较低，同时机械臂的结构复杂，成本较高因此需要提出一种碳化硅晶体生产用取料装置。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种碳化硅晶体生产用取料装置，以解决上述
技术介绍
中提出的机械臂结构复杂成本高，且晶体散热影响取料
【技术保护点】
1.一种碳化硅晶体生产用取料装置，包括夹持板(7)，其特征在于：所述夹持板(7)的一侧固定连接有耳板(9)，且耳板(9)的内侧固定连接有转柱(10)，所述转柱(10)的外部固定安装有半齿(11)，且半齿(11)的一侧啮合有齿条(12)，所述齿条(12)的内部移动连接有定位柱(13)；
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生产用取料装置，其特征在于，所述夹持板(7)的内部固定安装有换热管(6)，且换热管(6)的一侧贴合设置有换热板(8)，所述换热板(8)固定安装在夹持板(7)的内侧壁，且夹持板(7)和换热板(8)均为弧形结构。
3.根据权利要求...
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶体生产用取料装置，包括夹持板(7)，其特征在于：所述夹持板(7)的一侧固定连接有耳板(9)，且耳板(9)的内侧固定连接有转柱(10)，所述转柱(10)的外部固定安装有半齿(11)，且半齿(11)的一侧啮合有齿条(12)，所述齿条(12)的内部移动连接有定位柱(13)；
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生产用取料装置，其特征在于，所述夹持板(7)的内部固定安装有换热管(6)，且换热管(6)的一侧贴合设置有换热板(8)，所述换热板(8)固定安装在夹持板(7)的内侧壁，且夹持板(7)和换热板(8)均为弧形结构。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶体生产用取料装置，其特征在于，所述换热管(6)的一端固定连接有循环水泵(5)，且循环水泵(5)的一侧固定安装有水箱(2)，所述水箱(2)的一侧内部等距离安装有散热板(3)，且散热板(3)的外侧设置有散热扇(4)。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶体生产用取料装置，其特征在于，所述水箱(2)的底部转动安装有旋转底座(1)，所述换热管(6)的两端分别与循环水泵(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚恒，姚泰，
申请(专利权)人：芜湖予秦半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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