制造有机发光显示器的方法及有机发光显示器技术

技术编号:4262107 阅读:179 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
公开了一种制造有机发光显示器的方法及有机发光显示器。该方法包括在基板上形成晶体管,在该晶体管上形成将与该晶体管的源极或漏极连接的阴极,在该阴极上形成具有开口的堆积层,去除该阴极上的自然氧化层,在该阴极上形成绝缘缓冲层,在该绝缘缓冲层上形成有机发光层,以及在该有机发光层上形成阳极。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种制造有机发光显示器的方法及有机发光显示器
技术介绍
用在有机发光显示器中的有机发光元件具有自发光结构,在该结构中, 在基板上的两个电极之间形成有发光层。有机发光器件根据其发光的方向分为顶部发光型有机发光器件和底部发 光型有机发光器件。有机发光器件根据显示器被驱动的方式还分为无源矩阵型 有机发光器件和有源矩阵型有机发光器件。在有机发光显示器中,扫描信号、数据信号、电源等被施加给以矩阵形 式排列的多个子像素,并且光从选择的子像素发出,从而显示图像。子像素包括在基板上的晶体管和在该晶体管上的有机发光二极管。有机 发光二极管分为包括阳极、有机发光层和阴极的正向有机发光二极管以及包括 阴极、有机发光层和阳极的反向有机发光二极管。在包括反向有机发光二极管的有机发光显示器中,当沉积形成阴极的一 些电极时,这些电极间的界面被氧化。因此,有机发光显示器的可靠性和寿命 将降低。
技术实现思路
本专利技术示范性实施例的其它特征和优点将在随后的描述中给出,它们中的 一部分根据随后的说明将是显然的,或者可由本专利技术的实施例的实施而获悉。 通过文字描述和权利要求以及附图中具体给出的结构,可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造有机发光显示器的方法,所述方法包括: 在基板上形成晶体管; 在所述晶体管上形成将与所述晶体管的源极或漏极连接的阴极; 在所述阴极上形成具有开口的堆积层; 去除所述阴极上的自然氧化层; 在所述阴极上形成绝 缘缓冲层; 在所述绝缘缓冲层上形成有机发光层;以及 在所述有机发光层上形成阳极。

【技术特征摘要】
KR 2008-5-27 10-2008-00492951、一种制造有机发光显示器的方法,所述方法包括在基板上形成晶体管;在所述晶体管上形成将与所述晶体管的源极或漏极连接的阴极;在所述阴极上形成具有开口的堆积层;去除所述阴极上的自然氧化层;在所述阴极上形成绝缘缓冲层;在所述绝缘缓冲层上形成有机发光层;以及在所述有机发光层上形成阳极。2、 根据权利要求1所述的方法,其中所述绝缘缓冲层的厚度是5A至10 A。3、 根据权利要求1所述的方法,其中去除所述自然氧化层包括采用氩(Ar) 等离子体。4、 根据权利要求1所述的方法,其中形成所述绝缘缓冲层包括采用氮气 (N2)和氧气(02)等离子体。5、 根据权利要求1所述的方法,其中在变压器耦合等离子体(TCP)反应 室环境中执行去除所述自然氧化层,对所述反应室施加2至10托的压强,10 至50 Sccm...

【专利技术属性】
技术研发人员:崔浩源
申请(专利权)人:乐金显示有限公司
类型:发明
国别省市:KR[韩国]

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