一种ＰＺＴ薄膜的制备方法技术

本发明专利技术提供了一种ＰＺＴ薄膜的制备方法，首先制备所用的先体溶液，将乙酸铅，钛酸丁酯和庚酸氧锆溶解在乙二醇乙醚中，并用冰醋酸控制溶胶的水解速度，得到ＰＺＴ溶胶，然后使用匀胶机将ＰＺＴ溶胶旋涂在硅片上，每次旋涂的同时均使用碘钨灯照射，经多次旋涂后得到表面平整光滑，厚度均匀的ＰＺＴ薄膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种PZT薄膜的制备方法。
技术介绍
PZT(锆钛酸铅)陶瓷材料是当前应用最广、研究最深入的铁电材料。PZT陶瓷材料具有优异的热释电、压电和铁电性能，是制备热释电红外探测器、微型压电驱动器、铁电存储器、铁电声纳换能器等器件的理想材料。作为块体材料使用的PZT陶瓷材料虽然具有优异的电性能，但工作电压高，使用频率低，不适于兼容半导体集成电路工艺，因而使其应用受到一定的限制。 目前PZT薄膜已成为研究的主要方向，与块体材料相比，其优越性是尺寸小，重量轻、工作电压 低，能与半导体集成电路兼容。目前，已有报道使用脉冲激光沉积法、磁控溅射法、金属有机物化学气相沉积法和溶胶-凝胶法等方法制备出PZT薄膜。其中，溶胶-凝胶法成本最低，适合大面积成膜，但是溶胶_凝胶法在使用匀胶机旋涂成膜时，容易在薄膜表面出现颗粒聚集，致使薄膜不平整，从而影响PZT薄膜的的电学性质。 本专利技术提供了一种PZT薄膜的制备方法，能够得到表面平整光滑，厚度均匀的PZT薄膜。
技术实现思路
本专利技术提供了一种PZT薄膜的制备方法，首先制备所用的先体溶液，将乙酸铅，钛酸丁酯和庚酸氧锆溶解在乙二醇乙醚中，并用冰醋本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＰＺＴ薄膜的制备方法，包括使用乙酸铅，钛酸丁酯和庚酸氧锆和乙二醇乙醚来制备先体溶液，得到ＰＺＴ溶胶；使用匀胶机将ＰＺＴ溶胶旋涂在硅片上，经多次旋涂后得到表面平整光滑，厚度均匀的ＰＺＴ薄膜，其特征在于：每次旋涂的同时均使用碘钨灯照射。

【技术特征摘要】
一种PZT薄膜的制备方法，包括使用乙酸铅，钛酸丁酯和庚酸氧锆和乙二醇乙醚来制备先体溶液，得到PZT溶胶；使用匀胶机将PZT溶胶旋涂在硅片上，经多次旋涂后得到表面平整光滑，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张炎，
申请(专利权)人：南通芯迎设计服务有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]