一种柔性压力传感器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及压力传感器技术领域。本发明专利技术提供了一种柔性压力传感器，包括：包括柔性基底、铁电薄膜压力感应层、柔性介质电容耦合层、二维半导体信号传输层，金属源漏电极层。本发明专利技术的柔性压力传感器，将铁电薄膜优异压电特性与二维材料高迁移率特性通过场效应管结构有机结合起来，利用铁电薄膜材料作为压力感应层，压力引发的弯曲导致铁电薄膜表面出现可观数量的极化电荷，此部分极化电荷通过栅压效应可有效调控对外界敏感的二维材料载流子浓度，使二维材料电导率改变，输出电流大小发生变化，从而获得快速响应、高灵敏的柔性压力传感器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压力传感器，尤其涉及一种柔性压力传感器及其制备方法。

技术介绍

1、柔性压力传感器作为可穿戴设备的核心感知元件，在健康、运动监测方面应用前景巨大，柔性传感器与人体表面贴合可提高血压、心率等信号的采集准确度和可靠性，同时为其轻薄柔软的特性为使用者提供很好的佩戴舒适度。其次，采用柔性压力传感器作为仿生皮肤进一步与机器人融合也为人机交互提供了巨大的应用空间，在一些恶劣环境(外太空、深海等)下，可对机械臂进行精确智能操控。随着柔性电子技术和人工智能技术的发展，低成本、易制备、高性能、可集成的柔性压力传感器越来越受到关注。

2、目前柔性压力传感器种类多样，但是工艺复杂、成本较高，并且难以实现集成化、智能化，因此，大规模商业化应用困难重重。

3、基于目前柔性压力传感器存在的缺陷，有必要对此进行改进。

技术实现思路

1、有鉴于此，本专利技术提出了一种柔性压力传感器及其制备方法，以解决或至少部分解决现有技术存在的缺陷。

2、第一方面，本专利技术提供了一种柔性压力传感器，包括：本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种柔性压力传感器，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述柔性基底的材料为柔性绝缘高分子材料；

3.如权利要求2所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述柔性绝缘高分子材料为聚酰亚胺。

4.如权利要求2所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述压电材料为P(VDF-TrFE)、AlScN、BTO中的至少一种。

5.如权利要求2所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述二维材料包括石墨烯、MoS2中的至少一种。

6.如权利要求2所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述柔性电介质材料为聚酰亚胺。

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【技术特征摘要】

1.一种柔性压力传感器，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述柔性基底的材料为柔性绝缘高分子材料；

3.如权利要求2所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述柔性绝缘高分子材料为聚酰亚胺。

4.如权利要求2所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述压电材料为p(vdf-trfe)、alscn、bto中的至少一种。

5.如权利要求2所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述二维材料包括石墨烯、mos2中的至少一种。

6.如权利要求2所述的柔性压力传感器，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙晓娟，陈银辉，贾玉萍，黎大兵，陈洋，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：

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