【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体器件，公开了一种声学谐振器结构及其制备方法、记录媒体和系统。
技术介绍
1、纳米声学谐振器作为当代科研领域的前沿技术，正逐步展露其在精密传感、量子信息处理、微纳电子机械系统（mems/nems）及材料科学等多方面的广泛应用潜力。通过利用其在纳米尺度下对声波的独特操控能力，这些微小器件能够在生物医学领域实现极高灵敏度的分子检测，在量子科技中作为声子与量子比特交互的桥梁，同时在mems技术中作为高频滤波与频率控制的关键组件，以及在热管理和能量转换上展现出新机遇。
2、纳米声学谐振器集成度的大幅度提高是重要发展方向，因为集成度提高能够带来多方面的显著优势。首先，更高的集成度允许在更小的物理空间内集成更多的功能组件，从而微型化器件，减小设备体积，这对于便携式设备和可穿戴技术尤为重要。其次，集成度的提升有助于降低能耗，因为更紧密的组件布局减少了信号传输的距离，进而减少了能量损失，对于延长电池寿命和实现绿色能源应用是一个关键因素。再者，纳米尺度的精密制造能够利用量子效应和材料的纳米特性，比如增强的声学共振性能，提高信...
【技术保护点】
1.一种声学谐振器结构，其特征在于包括水平方向的电介质层和紧贴电介质层下表面的下电极层以及整体垂直落座于电介质层上表面的鳍片模组，所述鳍片模组包括两侧涂覆钨层的鳍片和从钨层底部引出的上电极，所述鳍片为外覆铪氧化锆-氧化铝涂层的硅基片，所述硅基片包括横截面为矩形、两侧涂覆有钨层的硅材料墙体，所述矩形的尺寸依据预设的固有频率确定。
2.根据权利要求1所述的一种声学谐振器结构，其特征在于，所述铪氧化锆-氧化铝涂层为多层铪氧化锆和氧化铝轮流交叠形成的复合层。
3.根据权利要求2所述的一种声学谐振器结构，其特征在于，所述铪氧化锆-氧化铝涂层的厚度为10纳
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【技术特征摘要】
1.一种声学谐振器结构，其特征在于包括水平方向的电介质层和紧贴电介质层下表面的下电极层以及整体垂直落座于电介质层上表面的鳍片模组，所述鳍片模组包括两侧涂覆钨层的鳍片和从钨层底部引出的上电极，所述鳍片为外覆铪氧化锆-氧化铝涂层的硅基片，所述硅基片包括横截面为矩形、两侧涂覆有钨层的硅材料墙体，所述矩形的尺寸依据预设的固有频率确定。
2.根据权利要求1所述的一种声学谐振器结构，其特征在于，所述铪氧化锆-氧化铝涂层为多层铪氧化锆和氧化铝轮流交叠形成的复合层。
3.根据权利要求2所述的一种声学谐振器结构，其特征在于，所述铪氧化锆-氧化铝涂层的厚度为10纳米级。
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【专利技术属性】
技术研发人员：胡跃，周超辉，刘育策，王梦，金和平，罗惠恒，张晓萌，
申请(专利权)人：三峡智能工程有限公司，
类型：发明
国别省市：
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