一种声表面波谐振器、滤波器及电子设备制造技术

技术编号:42500708 阅读:27 留言:0更新日期:2024-08-22 14:13
本申请公开了一种声表面波谐振器、滤波器及电子设备,涉及半导体结构技术领域。在声表面波谐振器中,位于电极指条末端的活塞结构一方面可以实现光学邻近校正;另一方面通过改变声速来增大交界面的声速差,以此有助于形成piston模式。位于电极指条上的横向假指可以增强声波的反射效果,能够破坏横向模式的谐振条件,从而减少能量泄漏。纵向假指也可以起到抑制杂波和提高声表面波谐振器品质因数的效果。该声表面波谐振器不再使用活塞结构结合纵向假指的方案,而是采用活塞结构结合横向假指以及纵向假指的方案以增强对横模杂散的抑制效果,实现更大程度抑制杂模干扰、提高Q值、提升声表面波谐振器性能的目的。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体结构,尤其涉及一种声表面波谐振器、滤波器及电子设备


技术介绍

1、saw(surface acoustic wave,声表面波)谐振器是声表面波谐振器的简称,是一种利用其压电效应和声表面波传播的物理特性而制成的一种滤波专用器件,广泛应用于各种各样的领域中,例如射频领域。其中声表面波是一种能量集中在表面附近的弹性波。

2、在目前的声表面波产品设计中,由于声表面波谐振器横向传播的声波导致的声表面波谐振器会出现横向谐振模,即出现在通带内及通带附近的杂波,该杂波会增大声表面波谐振器的损耗,使q值出现大幅度波动,降低声表面波谐振器的性能。

3、那么,如何抑制杂模干扰、提高q值、提升声表面波谐振器的性能,就是现今谐振器设计中的重中之重。


技术实现思路

1、鉴于上述问题,本申请提供了一种声表面波谐振器、滤波器及电子设备,以实现抑制杂模干扰、提高q值、提升声表面波谐振器性能的目的。具体方案如下:

2、本申请第一方面提供一种声表面波谐振器,所述声表面波谐振器包括:

<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种声表面波谐振器,其特征在于,所述声表面波谐振器包括:

2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,任意两条所述电极指条上的第一横向假指在所述第二方向上的长度相同。

3.根据权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,位于所述第一电极指条上的第一横向假指在所述第二方向上的长度与位于所述第二电极指条上的第一横向假指在所述第二方向上的长度不同。

4.根据权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,一部分所述第一电极指条上的第一横向假指在所述第二方向上的长度与另一部分所述第一电极指条上的第一横向假指在所述第二方向上的长度不同

5....

【技术特征摘要】

1.一种声表面波谐振器,其特征在于,所述声表面波谐振器包括:

2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,任意两条所述电极指条上的第一横向假指在所述第二方向上的长度相同。

3.根据权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,位于所述第一电极指条上的第一横向假指在所述第二方向上的长度与位于所述第二电极指条上的第一横向假指在所述第二方向上的长度不同。

4.根据权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,一部分所述第一电极指条上的第一横向假指在所述第二方向上的长度与另一部分所述第一电极指条上的第一横向假指在所述第二方向上的长度不同。

5.根据权利要求1或4所述的声表面波谐振器,其特征在于,一部分所述第二电极指条上的第一横向假指在所述第二方向上的长度与另一部分所述第二电极指条上的第一横向假指在所述第二方向上的长度不同。

6.根据权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,当所述纵向假指与所述汇流条连接时,所述横向假指还包括第二横向假指,所述第二横向假指的长度延伸方向与所述第二方向平行,位于同一所述电极指条上的第一横向假指和第二横向假指分别位于该电极指条的两侧,所述目标电极指条上的第二横向假指位于所述目标电极指条上的匹配结构和所述目标汇流条之间。

7.根据权利要求6所述的声表面波谐振器,其特征在于,任意两条所述电极指条上的第二横向假指在所述第二方向上的长度相同。

8.根据权利要求6所述的声表面波谐振器,其特征在于,当所述第一横向假指在所述第二方向上的长度...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨明红路晓明
申请(专利权)人:浙江星曜半导体有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1