弹性波装置制造方法及图纸

提供一种能够使弹性波装置不容易破损地抑制损耗的劣化的弹性波装置。本发明专利技术涉及的弹性波装置(10)具备：压电性基板(12)，具有包含支承基板(16)的支承构件(13)和设置在支承构件(13)上且包含钽酸锂或铌酸锂的压电层(14)；和IDT电极(11)，设置在压电层(14)上，具有一对汇流条和多个电极指(多个第1电极指(28)、多个第2电极指(29))。在将压电层(14)的厚度设为d、将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在一对汇流条中的一个汇流条连接有多个电极指中的一部分的电极指。在另一个汇流条连接有其余的电极指。与一个汇流条连接的一部分的电极指和与另一个汇流条连接的其余的电极指彼此相互交错对插。在从相邻的电极指彼此相互对置的电极指对置方向观察时，相邻的电极指彼此相互重叠的区域为交叉区域(F)。位于交叉区域(F)与一对汇流条之间的区域为一对间隙区域。交叉区域(F)具有中央区域和配置为在多个电极指延伸的电极指延伸方向上夹着中央区域的一对边缘区域。支承构件(13)包含对压电层(14)进行支承的支承部(13a)和不对压电层(14)进行支承的非支承部(13b)。支承构件(13)的非支承部(13b)在俯视下与一对边缘区域中的位于电极指间的部分的90％以上以及中央区域重叠。在压电层(14)，在俯视时与一对间隙区域重叠并且位于电极指间的部分的50％以上，设置有贯通孔(贯通孔(14c))。支承构件13的支承部(13a)被设置为在俯视下与一对间隙区域中的设置有电极指的部分重叠。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及弹性波装置。

技术介绍

1、以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话的滤波器等。近年来，提出了如下述的专利文献1所记载的那样的利用了厚度剪切模式的体波的弹性波装置。在该弹性波装置中，在支承体上设置有压电层。在压电层上设置有成对的电极。成对的电极在压电层上相互对置，并且与相互不同的电位连接。通过在上述电极间施加交流电压，从而激励了厚度剪切模式的体波。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：美国专利第10491192号说明书

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、在专利文献1所记载的弹性波装置中，难以充分抑制损耗。另外，例如，为了抑制损耗的劣化，可以考虑不通过支承体来支承用于激励弹性波的上述电极。然而，在该情况下，存在由于强度不足而产生压电层的破裂等的担忧。

3、本专利技术的目的在于，提供能够使弹性波装置不容易破损地抑制损耗的劣化的弹性波装置。

4、用于解决问题的技术方案

5、本专利技术涉及的弹性波装置具本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求4或5所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1～9中的任一项所述的弹性波装置，其中，

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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求4或5所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

8....

【专利技术属性】
技术研发人员：大门克也，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：

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