【技术实现步骤摘要】
本专利技术实施例涉及谐振器，尤其涉及一种薄膜体声波谐振器及其制备方法。
技术介绍
1、随着无线通讯技术的快速发展，更高频段收发信息的设备越来越多，对射频前端电路的要求越来越苛刻，因此高性能滤波器的市场需求越来越大。体声波滤波器凭借其高品质因子、带外抑制好、高矩形系数等特点，正逐渐成为市场的主流。
2、体声波滤波器是由多个谐振器按特定电路级联构成。高性能滤波器需要高性能谐振器，高性能谐振器具有高品质因子，高品质因子能让滤波器具有更小的插入损耗和更陡峭的滚降特性，拥有更优越的滤波性能。综上所述，制备稳定性高、性能优越的谐振器非常重要。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，以提升薄膜体声波谐振器中膜层的生长质量，优化薄膜体声波谐振器的性能。
2、第一方面，本专利技术实施例提供了一种薄膜体声波谐振器，包括：
3、衬底；
4、牺牲层，位于所述衬底的一侧，所述牺牲层中包括第一空腔，所述第一空腔沿所述牺牲层的厚度方向贯穿所述
【技术保护点】
1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述辅助生长层中包括第二空腔，沿所述牺牲层的厚度方向，所述第二空腔与所述第一空腔交叠；
3.根据权利要求2所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，沿所述牺牲层的厚度方向，所述第一空腔和所述第二空腔重合。
4.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述堆叠谐振结构包括层叠设置的第一电极、第二压电层和第二电极；
5.根据权利要求4所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述薄膜体声波谐振器还包括第三压电层，所述第三压电层位...
【技术特征摘要】
1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述辅助生长层中包括第二空腔，沿所述牺牲层的厚度方向，所述第二空腔与所述第一空腔交叠；
3.根据权利要求2所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，沿所述牺牲层的厚度方向，所述第一空腔和所述第二空腔重合。
4.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述堆叠谐振结构包括层叠设置的第一电极、第二压电层和第二电极；
5.根据权利要求4所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述薄膜体声波谐振器还包括第三压电层，所述第三压电层位于所述第二电极背离所述第二压电层的一侧。
6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩金钊，蔡耀，代金豪，孙博文，孙成亮，国世上，
申请(专利权)人：武汉敏声新技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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