晶线状态确定方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

技术编号:42497796 阅读:31 留言:0更新日期:2024-08-22 14:09
本发明专利技术实施例提供了一种晶线状态确定方法、装置、设备及介质。该方法包括:在直拉单晶过程中,获取放肩阶段的单晶棒图像,识别所述单晶棒图像中的晶棒区域和晶线区域,根据所述晶棒区域的边界和所述晶线区域的边界,确定单晶棒的晶线的状态信息,使得利用机器视觉技术识别出晶棒区域和晶线区域,据此自动确定晶线的状态信息,解决了工作人员无法实时观察晶线状态的问题,提高了晶线状态确定的实时性和准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶体制备,特别是涉及一种晶线状态确定方法、一种晶线状态确定装置、一种电子设备以及一种存储介质。


技术介绍

1、单晶硅材料的制备工艺以直拉法(czochralski process/cz)为主,利用直拉法将多晶硅原料提炼成单晶硅。在直拉单晶过程中生成棒状单晶硅晶体的过程分为装料、加热熔料、调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤。

2、其中,当多晶硅原料融化完成后,还不能马上开始引晶,因为这时的温度要高于引晶温度,还必须经过降温,将温度调整到引晶的温度。引晶是将事先装到钢丝绳末端的籽晶(也就是加工成一定形状的单晶)与液面接触,在引晶温度下,硅分子将沿着籽晶的晶格方向生长,从而形成单晶。放肩是将晶体直径逐步生长到生成所要求的直径,在放肩的过程中将拉出随着长度逐渐变长,直径逐渐变大到要求的直径左右的一段晶体,以便消除晶体位错。当晶体在放肩过程中生长到生产要求的直径后,进入转肩过程。转肩是将晶体直径控制在生产所要求的直径。当转肩完成后进入等径控制步骤,在该步骤中,通过对拉速和温度的自动控制,让晶体将按照设定的直径等径生长。

3本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶线状态确定方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述状态信息包括晶线是否发生断线,所述根据所述晶棒区域的边界和所述晶线区域的边界,确定单晶棒的晶线的状态信息,包括:

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在晶线发生断线的情况下,所述状态信息包括断线发生时长,所述根据所述晶棒区域的边界和所述晶线区域的边界,确定单晶棒的晶线的状态信息,还包括:

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述状态信息包括实时晶线宽度和/或历史晶线宽度,所述根据所述晶棒区域的边界和所述晶线区域的边界,确定单晶棒的晶线的状态信息,包括...

【技术特征摘要】

1.一种晶线状态确定方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述状态信息包括晶线是否发生断线,所述根据所述晶棒区域的边界和所述晶线区域的边界,确定单晶棒的晶线的状态信息,包括:

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在晶线发生断线的情况下,所述状态信息包括断线发生时长,所述根据所述晶棒区域的边界和所述晶线区域的边界,确定单晶棒的晶线的状态信息,还包括:

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述状态信息包括实时晶线宽度和/或历史晶线宽度,所述根据所述晶棒区域的边界和所述晶线区域的边界,确定单晶棒的晶线的状态信息,包括:

5.根据权利要求2-4中任一项所述的方法,其特征在于,在所述根据所述晶棒区域的边界...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭力
申请(专利权)人:隆基绿能科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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