断线概率确定方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

技术编号:42497795 阅读:20 留言:0更新日期:2024-08-22 14:09
本发明专利技术实施例提供了一种断线概率确定方法、装置、设备及介质。该方法包括:在直拉单晶过程中,获取等径阶段的单晶棒的目标图像序列;识别所述目标图像序列中的晶线区域;根据所述目标图像序列中所述晶线区域的识别情况,确定单晶棒的晶线的断线概率,使得利用机器视觉技术识别出晶线区域,据此自动确定晶线的断线概率,解决了工作人员无法实时观察晶线状态的问题,提高了断线概率确定的实时性和准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶体制备,特别是涉及一种断线概率确定方法、一种断线概率确定装置、一种电子设备以及一种存储介质。


技术介绍

1、单晶硅材料的制备工艺以直拉法(czochralski process/cz)为主,利用直拉法将多晶硅原料提炼成单晶硅。在直拉单晶过程中生成棒状单晶硅晶体的过程分为装料、加热熔料、调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤。

2、其中,当多晶硅原料融化完成后,还不能马上开始引晶,因为这时的温度要高于引晶温度,还必须经过降温,将温度调整到引晶的温度。引晶是将事先装到钢丝绳末端的籽晶(也就是加工成一定形状的单晶)与液面接触,在引晶温度下,硅分子将沿着籽晶的晶格方向生长,从而形成单晶。放肩是将晶体直径逐步生长到生成所要求的直径,在放肩的过程中将拉出随着长度逐渐变长,直径逐渐变大到要求的直径左右的一段晶体,以便消除晶体位错。当晶体在放肩过程中生长到生产要求的直径后,进入转肩过程。转肩是将晶体直径控制在生产所要求的直径。当转肩完成后进入等径控制步骤,在该步骤中,通过对拉速和温度的自动控制,让晶体将按照设定的直径等径生长。

3本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种断线概率确定方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述目标图像序列包括目标图像,所述在直拉单晶过程中,获取等径阶段的单晶棒的目标图像序列,包括:

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述单晶棒的晶线个数为m,在所述在直拉单晶过程中,获取等径阶段的单晶棒的目标图像序列之前,所述方法还包括:

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述识别情况包括未检出占比,所述根据所述目标图像序列中所述晶线区域的识别情况,确定单晶棒的晶线的断线概率,包括:

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述识别情况包...

【技术特征摘要】

1.一种断线概率确定方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述目标图像序列包括目标图像,所述在直拉单晶过程中,获取等径阶段的单晶棒的目标图像序列,包括:

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述单晶棒的晶线个数为m,在所述在直拉单晶过程中,获取等径阶段的单晶棒的目标图像序列之前,所述方法还包括:

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述识别情况包括未检出占比,所述根据所述目标图像序列中所述晶线区域的识别情况,确定单晶棒的晶线的断线概率,包括:

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述识别情况包括未检出占比,所述方法还包括:

【专利技术属性】
技术研发人员:郭力李广砥王正远杨正华
申请(专利权)人:隆基绿能科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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